1992 Fiscal Year Annual Research Report
磁気研磨法によるファインセラミックスの高能率・高精度鏡面加工に関する研究
Project/Area Number |
02650084
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Research Institution | Utsunomiya University |
Principal Investigator |
進村 武男 宇都宮大学, 工学部, 助教授 (30008049)
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Keywords | 磁気研磨 / ファインセラミックス / ダイヤ磁性砥粒 / 強磁性体粒子混合磁性砥粒 / 酸化クロム磁性砥粒 / 平面研磨 / 表面粗さ / 加工能率 |
Research Abstract |
ファインセラミックスを高能率・高精度で磁気研磨加工し得るダイヤ磁性砥粒の開発とその研磨性能の究明,および磁性砥粒に大径の鉄粉を混合した『混合磁性砥粒』を用いる新しい磁気研磨法の創案を目的として研究した.その結果,次の成果を得た.(1)ダイヤ磁性砥粒の新しい製作法(電解めっき法と無電解めっき法,および,そのめっき条件)を明らかにした.(2)ダイヤ磁性砥粒の研磨性能を平面磁気研磨実験によって明らかにした.(3)電解めっき法と無電解めっき法により製作したダイヤ磁性砥粒の研磨性能を調べ,両者が同等の研磨性能をもつことを明らかにした.(4)ダイヤ径,磁性砥粒の母体(鉄粉)形とその粒径,研磨回数が研磨量と表面粗さに及ぼす影響を明らかにし,その加工機構を考察した.(5)化学的接着法による新しいダイヤ磁性砥粒を外部機関と打合せて新規に製作し,その研磨性能を調べた.(6)粒径の大きい鉄粉をダイヤ磁性砥粒に混合した『鉄粉混合磁性砥粒』を用いれば,研磨能率が著しく向上できることを見いだした.(7)この『鉄粉混合ダイヤ磁性砥粒』の研磨性能(研磨能率向上効果)に及ぼす鉄粉粒径と鉄粉混合割合の影響を実験的に調べ,粒径と混合割合に適値が存在することを明らかにした.(8)その加工機構を理論的に考察し,研磨特性に及ぼす影響因子とその影響度を明らかにした.(9)鉄粉にCr_2O_3粒子を混合した「Cr_2O_3-Fe混合磁性砥粒」を用いた磁気研磨によってSi_3N_4セラミックスが平滑加工できること,また,鉄粉にSiO_2粒子を混合した「SiO_2-Fe混合磁性砥粒」を用いた磁気研磨によってAl_2O_3セラミックスが平滑加工できることをそれぞれ明らかにした.(10)以上の成果を『砥粒加工学会誌』,『精密工学会誌』,『日本機械学会論文集』に投稿(掲載決定)し,精密工学会・日本機械学会学術講演会において7編を発表した.現在,「セラミックボール・ローラーの精密磁気研磨」の研究に関して,オクラホマ州立大学(R.Komanduri教授)と共同研究中である.
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工 ーダイヤモンド磁性砥粒の開発とその研磨性能ー" 砥粒加工学会誌. 36. 91-98 (1992)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究 ー強磁性体粒子混合ダイヤ磁性砥粒の研磨能率向上効果" 精密工学会誌. 59. (1993)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法による内面の平滑加工に関する研究" 日本機械学会論文集(C編). 59. (1993)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究(第1報) ー平面磁気研磨特性ー" 1991年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 229-230 (1991)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究(第2報) ー強磁性体粒子混合ダイヤ磁性砥粒の研磨能率向上効果ー" 1992年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 589-590 (1992)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究(第3報) ーCr_2O_3-Fe混合磁性砥粒による窒化けい素セラミックスの精密磁気研磨ー" 精密工学会1992年度関西地方定期学術講演会講演論文集. 79-80 (1992)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究(第4報) ー円筒外面の研磨特性ー" 1992年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 135-136 (1992)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法によるファインセラミックスの平滑加工に関する研究(第5報) ーSiO_2-Fe混合磁性砥粒によるアルミナセラミックスの平面磁気研磨ー" 1993年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1993)
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[Publications] 進村 武男: "平面磁気研磨法の研究" 日本機械学会第69期通常総会講演会講演論文集(Vol.C). 420-422 (1992)
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[Publications] 進村 武男: "磁気研磨法に関する研究 ー混合磁性砥粒を用いたガラスの研磨ー" 日本機械学会第70期全国大会講演論文集(Vol.E). 402-404 (1992)
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[Publications] 進村 武男 (分担執筆): "『超精密生産技術大系』: 第1巻「超精密生産技術ー基本技術」第4編,第3章,第3節,第8項 『磁気研磨』" フジ・テクノシステム, 1000 (1994)