1991 Fiscal Year Annual Research Report
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02650101
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| Research Institution | Faculty of Science and Technology, Keio University |
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Principal Investigator |
三井 公之 慶應義塾大学, 理工学部, 教授 (90219668)
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| Keywords | 精密計測 / 運動精度 / 工作機械 / 真直度 / センサ- |
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| Research Abstract |
1)本研究では、まず新しい直線運動精度測定法開発のための調査研究を行った。その結果、超精密工作機械や精密測定機案内部の運動の真直度評価のためには、測定に用いる基準定規の真直度を補正することの必要性が明らかになった。この観点から、センサ-移動方式の新しい直線運動精度測定法の提案を行い、計算機シミュレ-ションにより、0.01μmオ-ダの精度での真直度測定の可能性を明らかにした。
2)直線運動精度測定に使用する静電容量形非接触変位計を試作した。変位計の測定分解能、直線性、周波数持性などの基礎的特性の評価を行った。測定分解能に関しては、5nmを達成したことを確認するとともに、ドリフトに関しても、電源投入後、20分で安定することを確認し、運動精度測定に十分使用可能なことを示した。また、従来明かでなかった静電容量形変位計の空間周波数特性についても計算機シミュレ-ション及び、実験を行い、変位計電極直径と検出可能波長成分との関連を解明した。
3)変位計の移動に用いる精度アクチェ-タを試作し、真直度、精度の再現性などの基本特性を明らかにした。また、三次元座標測定機の真直度の評価に本測定法を適用し、本測定法が精密工作機械、精密測定機などの直線運動精度測定法として適合することを明らかにした。
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