1990 Fiscal Year Annual Research Report
超薄箔・微細部品の加工・供給システムの開発に関する研究
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02650179
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| Research Institution | University of Toyama |
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Principal Investigator |
小泉 邦雄 富山大学, 工学部, 教授 (60019776)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐々木 基文 富山大学, 工学部, 助手 (00019217)
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| Keywords | 微細部品 / マイクロメカニズム / 微小機械 / マイクロハンド / マイクロフィ-ダ / ピエゾ素子 |
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| Research Abstract |
本研究は,電子・精密機器における部品の微細化及び素材の薄箔化の進展に対応するための微小機械製造技術のための基礎デバイスの開発を目的としている.第一には,微細・薄箔部品のハンドリングと精密フィ-ドに用いるためのマイクロハンドリング・フィ-ド素子,第二には,微細・薄箔部品の加工及びクランプ動作に用いるための精密微細加工機構である.前者は,二つのバイモルフ型ピエゾ素子をカギ状に剛に接続して先端工具を2次元動作させ得るものであり,後者は,積層型ピエゾ素子を主駆動源とする変位拡大機構の部材をバイモルフ型ピエゾ素子で構成して,このブ-スト機能によって発生変位・力を増大するとともに,出力特性を可変にする.
いづれも,高出力増幅器からの出力電圧を印加してピエゾ素子を駆動した.実験装置を構成する微小部品の組立及び調整,更には動作の観測には,実体顕微鏡を使用した.
1.カギ状マイクロハンドリング・フィ-ド素子
(1)把持・送り能力は,送り方向に対する先端ピエゾ素子の姿勢に大きな影響を受け,根元側ピエゾ素子の姿勢はあまり関係しない.先端素子が直立状態になると,最大自由移動距離及び送り距離が増す.
(2)根元側素子の軸方向が送り方向に近づくと,送り力が大きくなる.しかし送り距離は短くなる.
(3)素子構成形状が送り方向に対して非対称であるが,正負いづれの方向でも同程度の送り力を発生できる.
2.精密微細加工機構
(1)バイモルフ部材の駆動による出力へのブ-スト効果は,レバ-部の方が大きい.
(2)トグル部の傾き角を大きく取りすぎると,却って出力変位が減少する.
(3)レバ-部は,内側に傾くと出力変位が減少して発生力が増すが,傾き角を90ﾟに設定するのが適当である.
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Research Products
(1 results)
