1991 Fiscal Year Annual Research Report

X線顕微鏡光学

Research Project

Project/Area Number	03217104
Research Institution	University of Tsukuba
Principal Investigator	青木貞雄筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	中山則昭京都大学, 理学部, 助教授 (00164369) 田中和夫大阪大学, 工学部, 助教授 (70171741) 山中正宣大阪大学, レーザー核融合研究センター, 助教授 (10029118) 有留宏明大阪大学, 極限物質研究センター, 助教授 (70029552)
Keywords	斜入射X線顕微鏡 / ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡 / 多層膜ミラ- / ウォルタ-型ミラ- / レ-ザ-プラズマX線源 / シュバルツシストX線顕微鏡 / エピタキシャル成長 / 2次元CCD
Research Abstract	結像型のX線顕微鏡システムを新しいX線光学素子を用いて設計,製作し,その結像特性評価を行った。光学素子として,全反射斜入射ミラ-,ゾ-ンプレ-トおよび多層膜ミラ-を採用した。全反射斜入射X線顕微鏡光学では,照明ミラ-と対物ミラ-からなる光学系を組み立てた。対物ミラ-としてウォルタ-型ミラ-を採用し,軟X線源としてはレ-ザ-プラズマX線を採用した。倍率20倍の光学系で約600A^^°の分解能を得,実験室系の光学系では世界最高の性能を記録した。ゾ-ンプレ-トX線顕微鏡光学では,コンデンサ-ゾ-ンプレ-トとマイクロゾ-ンプレ-トを組み合せ,レ-ザ-プラズマの40A^^°の単色X線を用い,金属メッシュ像の拡大像の撮影に成功した。多層膜X線顕微鏡光学では,シュバルツシストミラ-を対物ミラ-とした。70A^^°の波長を用い,生体試料の撮影と金コロイドの撮影を行った。あわせて,X線ズ-ミング管の性能評価も行い,1μm以上の空間分解能が得られた。多層膜形成の基礎過程の研究では,エピタキシャル成長するAuとNiの組み合せについて,周期長20A^^°以下の多層膜を製作し,熱的安定性と内部構造の評価を行った。また,CrN/CおよびN,N/C多層膜の構造評価を行い,X線顕微鏡用に最適な物質の組み合せについて検討した。 X線画像計測では,背面照明型CCDの特性評価を行った。軟X線領域でも充分な感度があることを示した。

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] K.Ninomiya,Y.Hirai,A.Momose,S.Aoki and K.Suzuki: "Microscopic x-ray photoelectron spectroscopy using a focused soft x-ray beam" J.Vac.Sci.Technol.A9. 1244-1247 (1991)
[Publications] S.Hayakawa,Y.Gohshi,A.Iida,S.Aoki and K.Sato: "Fluorescence x-ray absorption fine structure measurements using a synchrotron radiation x-ray microprobe" Rev.Sci.Instrum.62. 2545-2549 (1991)
[Publications] S.Aoki,T.Ogata,S.Sudo and T.Onuki: "Sub 100mm resolution grazing incidence soft x-ray microscope with a laser produce plasma source" To be submitted to Jpn.J.Appl.Phys.(1992)
[Publications] S.Nakai,Y.Kato,M.Yamanaka,H.Daido,et al.: "Soft X-ray Laser Experiments with GEKKO XII-Amplification,Collimation and Coherence" Bull.Am.Phys.Soc.36. 2431 (1991)
[Publications] K.a.Tanaka: "Design,Fabrication and test of Schwarzschild Soft X-ray Microscope" OSA Annual Meeting. (1991)
[Publications] N.Nakayama: "Structural Characterization of Au/Ni Multilayered Films"

1991 Fiscal Year Annual Research Report

X線顕微鏡光学

Principal Investigator

青木 貞雄 筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)

Research Products

[Publications] K.Ninomiya,Y.Hirai,A.Momose,S.Aoki and K.Suzuki: "Microscopic x-ray photoelectron spectroscopy using a focused soft x-ray beam" J.Vac.Sci.Technol.A9. 1244-1247 (1991)

[Publications] S.Hayakawa,Y.Gohshi,A.Iida,S.Aoki and K.Sato: "Fluorescence x-ray absorption fine structure measurements using a synchrotron radiation x-ray microprobe" Rev.Sci.Instrum.62. 2545-2549 (1991)

[Publications] S.Aoki,T.Ogata,S.Sudo and T.Onuki: "Sub 100mm resolution grazing incidence soft x-ray microscope with a laser produce plasma source" To be submitted to Jpn.J.Appl.Phys.(1992)

[Publications] S.Nakai,Y.Kato,M.Yamanaka,H.Daido,et al.: "Soft X-ray Laser Experiments with GEKKO XII-Amplification,Collimation and Coherence" Bull.Am.Phys.Soc.36. 2431 (1991)

[Publications] K.a.Tanaka: "Design,Fabrication and test of Schwarzschild Soft X-ray Microscope" OSA Annual Meeting. (1991)

[Publications] N.Nakayama: "Structural Characterization of Au/Ni Multilayered Films"

青木貞雄筑波大学, 物理工学系, 助教授 (50016804)