Si(100)、(111)面ステップ ダイナミクスの通電効果

1991 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 03243217
• Research Institution: The University of Electro-Communications
• Principal Investigator: 名取 晃子 電気通信大学, 電気通信学部, 助教授 (50143368)
• Keywords: エレクトロマイグレ-ション / ステップ構造 / Si(100) / ステップ問相互作用 / ドメイン転換

Research Abstract

Si(100)面の優勢ドメイン転換をともなったステップ構造変化の機講を解明した。
従来のBCF理論に、1)通電に起因する吸着原子のドリフト流、2)ステップ問反撥相互作用、3)ステップ端での吸着原子の補獲連度、4)2×1再構成に基ずく拡散係数異方性、を考慮に入れてステップ配置の時問変化を数値的に調べた結果、以下のことが明らかにされた。
1)優勢ドメイン軽換をともなったステップ構造変化は、ドリフト流と拡散係数の異方性に起因する。
2)劣勢ドメイン巾は、ステップ間相互作用に基ずく拡散流とドリフト流の釣り合い条件で決定される。
3)劣勢ドメインの熱アニ-リングによる回複は、ステップ問相互作用に起因する。
4)ステップ上端側と下端側での吸着原子補獲連度の違いにより、1×2ドメインと2×1ドメインの拡張連度および熱アニ-リングで得られる平衝ドメイン巾の違いが説明される。