水熱電気化学法による機能制複合酸化物薄膜の作製と評価

1991 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 03403014
• Research Institution: Tokyo Institute of Technology
• Principal Investigator: 吉村 昌弘 東京工業大学, 工業材料研究所, 教授 (10016826)
• Keywords: 複合酸化物 / 薄膜 / 水熱電気化学

Research Abstract

本研究は機能性複合酸化物の薄膜を作製する新しい方法である水熱電気化学法の確立を目ざしたものであり、以下の成果が得られている。
1)金属チタンを100℃以上のBa(OH)_2溶液中で通電処理するチタン基板上にBaTiO_3の薄膜が生成する。
2)膜厚はBa(OH)_2の濃度、処理温度、処理時間、通電量に応じて増大する。
3)膜はBaTiO_3/TiO_2/Tiの三層から成っている。
4)交流を用いると膜厚は直流より薄いが均一生は優れいてる。
5)ガラスあるいは耐熱プラスチック基板上にスッパタしたTiからBaTiO_3膜を合成することが出来る。
6)得られたBaTiO_3膜は立方晶で半導体的である。
7)400℃以上の高温の水熱条件で正方晶のBaTiO_3の膜が作製できる。
8)同様の条件でSrTiO_3基板上にBaTiO_3エピタキシャル膜を成長させることができる。
9)同様の方法でSrTiO_3,BaFeO_3,BaNbO_3などの薄膜も作製できる。

Research Products

• [Publications] Koji Kajiyoshi: "Preparation of Tetragonal BaTiO_3 Thin Film on Metal Substrate by Hydrothermal Method" J.Am.Cer.Soc.74. 369-374 (1991)
• [Publications] Koji Kajiyoshi: "Heteroepitaxial Growth of BaTiO_3 Thin Films SrTiO_3 Substrates under Hydrothermal Conditions" Jpn.J.Appl.Phys.30. L120-L123 (1991)
• [Publications] Nobuo Ishizawa: "Multilayer Structure and Growth Mechanism of BatiO_3 Thin Films by Grazing Incidence Xーray Diffraction Analysis" Rept.of the Res.Lab.of Eng.Mater.Tokyo Institute of Technology. 16. 9-14 (1991)
• [Publications] Seung Eul Yoo: "Review on Preparation of Films of Functional Complex Oxide by HydrothermalーElectrochemical Method" Rept.of the Res.Lab.of Eng.Mater.Tokyo Institute of Technology. 16. 39-53 (1991)
• [Publications] 吉村 昌弘: "水熱電気化学法による機能性複合酸化物薄膜の作製" ニュ-セラミックス. 7. 53-57 (1990)
• [Publications] 吉村 昌弘: "水熱電気化学法によるペロブスカイト型酸化物膜の作製" セラミックス26. 3. 197-198 (1991)
• [Publications] 石澤 伸夫: "水熱電気化学法によるチタン酸バリウム等の複合酸化物薄膜の合成" 機能材料. 11. 34-41 (1991)