1992 Fiscal Year Annual Research Report
水熱電気化学法による機能性複合酸化物薄膜の作製と評価
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03403014
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
吉村 昌弘 東京工業大学, 工業材料研究所, 教授 (10016826)
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| Keywords | 水熱電気化学法 / 水熱法 / 機能性複合酸化物薄膜 / その場作製 / 超臨界流体 / チタン酸バリウム / チタン酸鉛 / チタン酸カルシウム |
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| Research Abstract |
活性な溶媒あるいは反応剤である高温高圧の水溶液を用いて人工の無機化合物あるいはその集合体であるセラミックスの合成に応用した。特に本研究では金属基板上に複合酸化物の膜を合成するという形態を制御したセラミックスの合成を行った。即ち、溶液(流体)と基板や基材と反応を用いることによって必要な箇所に必要な組織を持たせてin situ(その場)に作製することに成功した。TiあるいはTiAl金属板をCa溶液を含む水溶液中にいれてオートクレーブ中で処理するとCaTiO_3膜が数μmの厚さで生成した。特に、次世代の軽量耐熱材耐酸化性が向上することが分かった。また、BaTiO_3、PbTiO_3またはSrTiO_3をTi基板上に薄膜として合成することに成功した。BaNbO_3、LiNbO_3やBa_5Nb_4O_<15>の薄膜のNb基板上に、LiTaO_3をTa基板上に合成することにも成功した。また、BaTiO_3膜/SrTiO_3基板の合成に成功した。さらに、SrTiO_3基板上にBaTiO_3膜をエピタキシャル成長させることに成功した。これらの相の同定には薄膜用のXRD装置を用い、微構造の観察にはSEMを用いて行った。また、ラマン散乱によってPbTiO_3が生成していることを確認することができた。
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[Publications] K.Kajiyoshi: "Preparation of Tetragonal BaTiO3 Thin Film on Ti Metal Substrate by Hydrothermal Methad" Joumal of American Ceramics Society. 74. 369-374 (1991)
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[Publications] K.Kajiyoshi: "Heteroepitaial Growth of BaTiO3 Thin Films on SrTiO3 Substrated under Hydro thermal Conditions" Japanese Joumal of Applied Physics. 30. L120-L123 (1991)
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[Publications] 吉村 昌弘: "水熱電気化学法によるペロブスカイト型酸化物膜の作製" セラミックス. 26. 197-198 (1991)
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[Publications] 吉村 昌弘: "水熱合成によるセラミクス粉体" エレクトロニク・セラミックス. 22. 4-9 (1991)
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[Publications] N.Ishizawa: "Multilayer Structure and Growth Mechanism of BaTiO3 Thin Films by Grazing Incidena X-ray diffraction Analyses" Report of the Research Laboratory of Engineening Materials,Tokyo Institute of Technology. 16. 9-14 (1991)
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[Publications] K.Kajiyoshi: "Heteroepitaxial BaTiO3 Thin Films Groun on Sr TiO3 Substrates under Hydrothermal Conditions" Ceramic Transactions ¨Ferroelectric Films¨. 25. 271-278 (1992)
