1991 Fiscal Year Annual Research Report
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03452153
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| Research Institution | University of Toyama |
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Principal Investigator |
高橋 隆一 富山大学, 工学部, 助手 (80019223)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
平田 豊明 大阪真空機器製作所, 開発本部, 開発課長代理
池田 長康 富山大学, 工学部, 教授 (10222895)
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| Keywords | 磁性材料 / 薄膜 / 磁気記録 / 記録媒体 / スパッタ装置 / トロイダルプラズマ / プラズマフリ- / 中性粒子 |
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| Research Abstract |
トロイダルプラズマ式(TP)スパッタ法を用いて、プラズマ中の高エネルギ-粒子の挙動を調べ、それらとNdFeB系化合物薄膜の構造・特性との関係を明確にすると共に、新しい記録媒体としての特性を評価する。
1.プレ-ナリングタ-ゲットにNdFeB合金を用いる予定であったが、作製が困難で価格が高いためにFeタ-ゲット上のNd、Bのチップを配置した同時スパッタ法を採用した。アルゴンガス圧、投入電力を変化させながら、膜圧が0.2〜1μmのNdFeB薄膜を形成し、タ-ゲットの浸食状況、膜形成速度、基板温度などの変化を調べた。
(1).タ-ゲット裏面にNdFeBの永久磁石を配置した場合、2mTorr以下の低ガス圧まで安定放電が持続し、タ-ゲット印加電圧が350Vと低下した。このことは、タ-ゲット面近傍で面に垂直な磁界成分が増加するように磁石を配置すれば、高エネルギ-γ電子の封じ込めが強くなり、プラズマフリ-で膜が形成されることが示された。
(2).プラズマポテンシャル測定システムを用いて、プラズマポテンシャルを測定した結果、基板への高エネルギ-γ電子の飛来量が通常のスパッタ法よりも少ないことが明らかにされた。
(3).高密度トロイダルプラズマの形成により、膜形成速度0.19μm/min、基板温度60℃のスパッタができた。
(4).プレ-ナリングタ-ゲットを用いるため、その面積利用効率90%まで向上した。
2.タ-ゲットから放出される高エネルギ-中性粒子の同定及びエネルギ-分布を測定するための真空チェンバ-の製作も完了し、種々の機能を付加して飛行時間測定装置として使用するための調整を行っている。4月に入ってから測定開始を行う予定である。
3.2.が軌道に乗れば、3.5インチハ-ドディスクの試作、記録媒体としての評価は容易であると考えている。
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[Publications] Takakazu TAKAHASHI: "Annealing Dependence of Coercivity,Anisotropy Field and Resistivity for Amorphous CoZrNb Films Deposited by DC Planar Magnetron Sputtering" Journal of Applied Physics. 69. 5011-5013 (1991)
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[Publications] Takashi KAWANABE: "Preparation of Amorphous Carbon Films as Protective Layer by FTS System" Materials Science and Engineering. A134. 1296-1300 (1991)
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[Publications] Takakazu TAKAHASHI: "Magnetic and Crystallographic Characteristics of CoーCr Layers with Al Ultraーthin Interlayers" Journal of The Magnetics Society of Japan. 15,Suppl.,No.S2. 653-656 (1991)
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[Publications] Takakazu TAKAHASHI: "Effectiveness of Magnetic Field Perpendicular to CoーCr Target in TP Type Sputtering" Journal of The Magnetics Society of Japan. 15,Suppl.,No.S2. 921-925 (1991)
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[Publications] Takakazu TAKAHASHI: "Dependence of Saturation Magnetization and Coercivity of CoーCr/Al Multilayered Films on on CoーCr Layer Thickness" Journal of Applied Physics. 70. 6056-6058 (1991)
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[Publications] Toyaaki HIRATA: "Kerr Rotation and Perpendicular Magnetic Anisotropy of CoーCr Films with Al Ultraーthin Interlayers" Journal of Applied Physics. 70. 6392-6394 (1991)
