1991 Fiscal Year Annual Research Report
蒸着重合法による高分子単分子薄膜の作成に関する研究
Project/Area Number |
03453115
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Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
Principal Investigator |
奥居 徳昌 東京工業大学, 工学部, 教授 (20111651)
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Keywords | 蒸着 / 重合 / 薄膜 / 垂直配列 / ポリアミド酸 / ポリイミド |
Research Abstract |
蒸着重合法を用いて脂肪族系および芳香族系ポリアミド薄膜を作製し、その膜形成時における蒸着条件(蒸着速度、基板温度など)の影響を詳しく検討した。例えば、モノマ-として、1,10ージアミノデカン(DAD)とピロメリット酸二無水物(PMDA)を用い、種々の温度に設定したシリコン基板上に交互に蒸着して重合させ、ポリアミド酸およびポリイミド薄膜を作製した。基板温度を125℃以下に設定した場合には、基板上にポリアミド酸が形成されていることが赤外吸収スペクトルから確認され、X線回折から高分子鎖が基板上に対し垂直方向に配向していることがわかった。またこの基板温度では、各モノマ-は基板に付着出来ないことから、基板上に形成された高分子薄膜中には、残留モノマ-は全く含まれていない。さらに、このポリアミド酸薄膜を熱処理すると、125℃以上になると薄膜はイミド化され、200℃で熱処理すると、薄膜は完全にイミド化したポリイミド薄膜が形成された。このポリイミド薄膜の分子鎖の配向も基板に対し、垂直に配向が維持されていた。基板温度を175℃以上に設定すると、前駆体のポリイミド酸を経ずに基板上にポリイミドが直接生成し、分子鎖も基板に対し垂直に配向した薄膜を形成させることに成功した。このポリイミド薄膜の電気縁性は、10^<-18>S/cmの値を示した。
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Research Products
(9 results)
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[Publications] K.Tanaka,N.Okui and T.Sakai: "Molecular Orientation Behavior of Paraffin Thin Films Made by Vapor Deposition" Thin Solid Films. 196. 137-145 (1991)
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[Publications] A.Kubono,N.Okui,K.Tanaka,S.Umemoto and T.Sakai: "Highly Oriented Polyamide Thin Films Prepared by Vapor Deposition Polymerization" Thin Solid Films. 199. 385-393 (1991)
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[Publications] 武野 明義,奥居 徳昌,晝間 敏慎,鬼頭 哲治,村岡 道治,梅本 晋,酒井 哲也: "ポリフッ化ビニリデンの真空蒸着特性" 高分子論文集. 48. 399-404 (1991)
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[Publications] 武野 明義,奥居 徳昌,晝間 敏慎,村岡 道治,梅本 晋,酒井 哲也: "真空蒸着ポリフッ化ビニリデン薄膜の分子配向と結晶型" 高分子論文集. 48. 405-410 (1991)
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[Publications] T.Takeno,N.Okui,T.Kitoh,M.Muraoka,S.Umemoto and T.Sakai: "Preparation and Piezoelectricity of β Form Poly(vinylidene fuloride) Thin Film bu Vapor Deposition" Thin Solid Films. 202. 205-211 (1991)
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[Publications] T.Takeno,N.Okui,T.Kitoh,M.Muraoka,S.Umemoto and T.Sakai: "Prepartion and Electrical Properties of γ Form Poly(vinylidene fuloride) Thin Film by Vapor Deposition in the Presence of Electric Field" Thin Solid Films. 202. 213-220 (1991)
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[Publications] 奥居 徳昌: "SuperーCoolingによる相転移温度評価の問題点" 熱測定. 18. 231-232 (1991)
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[Publications] 奥居 徳昌: "蒸着重合による超配向高分子薄膜" 海外高分子研究. 37. 34-37 (1991)
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[Publications] 久保野 敦史,奥居 徳昌: "蒸着重合による配向高分子薄膜" 高分子加工. 40. 16-21 (1991)