1992 Fiscal Year Annual Research Report
液相エピタキシー法による高温超伝導単結晶薄膜の作製と各種表面分析による評価
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03650016
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| Research Institution | Tottori University |
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Principal Investigator |
徳高 平蔵 鳥取大学, 工学部, 教授 (70032266)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
西守 克己 鳥取大学, 工学部, 助教授 (40032271)
岸田 悟 鳥取大学, 工学部, 助教授 (30112105)
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| Keywords | 酸化物高温超伝導体 / 液相エピタキシー法 / 結晶成長 / Bi-Sr-Ca-Cu-O / 超伝導デバイス / 表面組成分析 / 表面構造 / X線光電子分光法 |
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| Research Abstract |
液相エピタキシー法により、Bi-Sr-Ca-Cu-O(BSCCO)酸化物高温超伝導薄膜の作製を試みた結果、以下のことが明らかになった。
(1)液相エピタキシー法のディッピング法とティッピング法の薄膜成長装置を製作した。
(2)これらの装置を用いて、薄膜成長に必要なBSCCO及び(BSCCO+KC1)系の相図を作成した。
(3)相図を用いて、MgO基板上に7K相BSCCO超伝導薄膜を堆積することができた。
(4)XPSによる組成分析の結果、rfマグネトロンスパッタ法により作製した80K相超伝導薄膜と比較してCuやCaが多いことがわかった。
(5)堆積した薄膜中には、フラックスのKやC1が含まれていないことがわかった。このことは、液相エピタキシー法により、BSCCO単結晶薄膜の作製が可能であることを示している。
(6)ティッピング法により、7K単相のBSCCO薄膜が得られた。この薄膜は、表面形態も良好であることから、単結晶薄膜であると考えられる。
今後、原材料組成や薄膜成長温度プロセスを最適化することによって80K相BSCCO単結晶薄膜の作製が可能になると考えられる。
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[Publications] 小山 正一他: "大気中および真空中劈開した80K相Bi系超伝導単結晶のSEM.SAMによる表面分析" 真空. 35. 187-189 (1992)
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[Publications] S.Kishida et al.: "Crystal Growth of the High Quality 80K-Phase Bi-Sr-Ca-Cu-O Bulk Single Crystals" Advaces in Superconductivity IV. 477-480 (1992)
