1991 Fiscal Year Annual Research Report
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03650220
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| Research Institution | Gifu National College of Technology |
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Principal Investigator |
稲葉 成基 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 助教授 (30110183)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
羽根 一博 名古屋大学, 工学部・電子機械工学科, 助教授 (50164893)
奥田 健一 岐阜工業高等専門学校, 電気工学科, 助手 (10214058)
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| Keywords | 光熱効果 / 液中振動 / 真空ポンプ / 水流ポンプ / レ-ザ |
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| Research Abstract |
半導体の超微細加工技術により、機械部品の製作・組み立てを行うマイクロマシニングは近年注目され、血液の微小流量制御などに使用され始めている。本研究の最終的な目的はマイクロマシニングで製作した部品を用い、超小型の全光学式の真空ポンプを開発することにある。
今年度は初年度であり以下のような研究を行い新たな知見を得た。
1.油回転ポンプの形態を有する真空ポンプを考えた場合、流体中において小形の板の振動がどの程度えられるかをまず確かめる必要があると考えられる。圧電素子の場合は液体中でも充分な振動がえられることはすでに確かめられているので、まず、光熱効果により液体中でも板が振動するかどうかを確認した。その結果、水中においても光熱中振動による共振現象が明確に生じるという新しい知見がえられた。光熱振動は空気中や真空中ではよく研究されているが液体中での実験は全くはじめてである。また、その共振周波数は液体の密度や粘性に依存するので、光学式の超小形の密度計あるいは粘性計などへの応用も考えられる。
2.液体中においても充分に光熱効果による振動が起きることが確かめられたので、光学式の水流ポンプの開発を実施し、弁の振動を確認している。
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