イメ-ジングプレ-トを用いた電子顕微鏡像の定量解析

1991 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 03805002
• Research Institution: Tohoku University
• Principal Investigator: 進藤 大輔 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (20154396)
• Keywords: イメ-ジングプレ-ト / 高分解能電顕像 / 電子回折図形 / 定量解析 / イメ-ジシミュレ-ション

Research Abstract

イメ-ジングプレ-トによって得られる高精度のデ-タ(2048画素×1536画素,4096階調)を処理するため、既存のパソコン及びワ-クステ-ション上に定量解析のためのソフトウェア-を開発した。これにより、logスケ-ルのオリジナルデ-タをリニア-スケ-ルに変換することができ、またバックグラウンドを除去して弱いシグナルを抽出することができるようになった。また、大型計算機を用いて計算した高分解能電子顕微鏡像のシミュレ-ション像と観察像をワ-クステ-ション上で定量的に比較することも可能となった。このようなソフトウェア-の完成により、これまで定性的な評価に留まっていた電子顕微鏡による解析が、定量的に行うことが可能となった。
具体的な成果は以下の通りである。
1.温度変化に伴う合金の規則格子反射強度変化を定量的に測定し、その規則度に関する知見を電子回折図形から定量的に明らかにした。
2.高温超伝導体に属する新しい化合物Pb(Ba,Sr)_2(Eu,Ce)_2Cu_3Oyの構造を、イメ-ジングプレ-トを用いた高分解能電子顕微鏡法により明らかにした。
3.これまで解析のできなかった化合物半導体Ga_<0.5>In_<0.5>Pの複雑な短範囲規則配列を高分解能電子顕微鏡法と電子回折図形を併用した定量的な解析により明らかにした。
上記の成果は、裏面に挙げた論文にまとめられている。なお、上記3の成果は、第42回金属学会金属組織写真佳作賞を受けることとなった('92.4.1受賞式)。
現在、本研究をさらに発展させ、新しい超高圧電子顕微鏡にイメ-ジングプレ-トを導入し、高精度での定量解析を進めている。

Research Products

• [Publications] 進藤 大輔: "イメ-ジングプレ-トを用いた電子顕微鏡像の定量解析" 日本金属学会会報. 30. 809-816 (1991)
• [Publications] D.Shindo: "Quantification in highーresofution electron microscopy with the imaging plate" Ultramicroscopy. 39. 50-57 (1991)
• [Publications] D.Shindo: "Characterigation of HighーTc Superconductors by HighーResolution and Analytical Electron Microscopy" JJAP Series7 Mechanisms of Superconductionity 1992. 51-54 (1992)
• [Publications] 工藤 純一: "高性能電子顕微鏡画像の多次元的画像解析" 「画像電子学会誌」.
• [Publications] D.Shindo: "ShorTーrange ordered structure of Ga_<0.5> In_<0.5> P muestigated by electron microscopy"