1992 Fiscal Year Annual Research Report
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04223104
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| Research Institution | Toyohashi University of Technology |
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Principal Investigator |
英 貢 豊橋技術科学大学, 工学部, 教授 (90124734)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐藤 真理 岡崎国立共同研究機構, 分子科学研究所, 助教授 (70001724)
安田 幸夫 名古屋大学, 工学部, 教授 (60126951)
田中 武彦 九州大学, 理学部, 教授 (00011586)
川崎 昌博 北海道大学, 電子科学研究所, 教授 (70110723)
小尾 欣一 東京工業大学, 工学部, 教授 (10016090)
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| Keywords | 光勃起プロセス / 角度分解型X線電子分光 / 偏光変調高感度反射赤外分光 / 走査型トンネル顕微鏡 / 高速反射電子回析 / レーザー誘起蛍光法 / 赤外ダイオードレーザー分光 / 吸着 |
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| Research Abstract |
光勃起プロセスによる薄膜形成の初期過程のその場診断について研究を行った。表面反応と気相反応にわけて説明する。
1.表面反応
計測手段の開発としては,角度分解型X線電子分光(XPS)による基板表面への材料ガス(有機金属化合物など)の吸着や光分解を調べることの外に,偏光変調高感度反射赤外分光法を確立して同じ目的に利用した。この結果,シリコン等の表面で有機分属化合物ガスが吸着する探子(物理吸着とか化学吸着)が詳しく調べられた。さらに,エキシマレーザが重水素ランプからの紫外光を照射して,吸着種が光分解する探子も分ってきた。さらに,走査型トンネル顕微鏡によってはアルミ薄暎形成の初期で島が成長し,しかも基板表面状態により結晶柱があることが観測された。同様に高連反射電子回析(RHEED)によって,シリコン基板上でチゲルマの二次元および三次元成長の楳様が明らかにされた。以上で述べたように光勃起表面反応のその場観測が多角的に行われ大きな成果を挙げることができた。
2気相反応
気相やでの材料ガス(シラン系ガスを中心として)の光分解により発生したラジカルの検出に,従来から行われていたレーザー誘起学光法(LIF)に加えて,赤外ダイオードレーザー分光が利用された。シラン系ガスの光分解に伴って発生したラジカルSiHnがこれらの手法で検出された。さらにゲルマンの光分解も調べられた。レーザーアブレーションによって基板からとび出した原子および基板からはね返った原子がLIFによって調べられている。
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[Publications] M.Hanabusa: "Photo-excited processes related to semicmductor technology" thin Solid Filds. 218. 144-150 (1992)
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[Publications] M.Ohashi: "Photodissociation of dimethylaluminum hydrede on Si(106)at 193um studied by x-vay photoelectron spoctroscopy" J.Appl.Phys.73. (1993)
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[Publications] Y.Koide: "In-ritu RHEED study on the effect of light irradiation on Ge its heterocpitoxial growth by GeHx sours MBE" J.Crystal Growth. 120. 284-289 (1992)
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[Publications] H.Ouchi: "Photoinducel deporition at alumium thin pilm on rilican nitride cad oxide" Jpn.J.Appl.Phys.31. 1979-1981 (1992)
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[Publications] M.Hanabusa: "Photoinduced selective deporition of alumium thin pilm using dimethy alumium hydride" Mater.Rey.Soc.Symps.Proc.236. 85-90 (1992)
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[Publications] T.Kawai: "Relative importance of adsorption and photolyris in nucleation and growth of se photodeporition" Proc.of Sympo.Dry Processes. oct.151-155 (1992)
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[Publications] 高橋 清: "光勃起プロセスの基礎(6.反応の診断,計測,分担)" 工業調査会出版部, 250 (1993)
