1992 Fiscal Year Annual Research Report

長基線レーザー干渉計のための大規模高速排気超高真空系の開発研究

Research Project

Project/Area Number	04234106
Research Institution	Tsukuba College of Technology
Principal Investigator	堀越源一筑波技術短期大学, 電子情報学科, 教授 (90023697)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	松田七美男東京電機大, 工学部, 講師 (90181734) 久保田雄輔核融合科学研究所, 助手 (50023726) 赤石憲也核融合科学研究所, 助教授 (90023720) 小川雄二郎高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 助手 (70177145) 斉藤芳男高エネルギー物理学研究所, 放射光実験施設, 助教授 (00141979) 成島勝也高エネルギー物理学研究所, 助教授 (80092493)
Keywords	重力波 / レーザー干渉系 / 超高真空系 / 表面コーティング
Research Abstract	前年度はいくつかの試験用テストパイプについての、真空排気特性を比較するのに、排気時間を推定するための目安として、大気圧から10^<-5>Paに達する迄の時間(T_<-5>)を定義し、その妥当性を確認した後、各種材料と処理を変えることによって、2種類のテストパイプについてT_<-5>を測定し、材料や処理法の優劣を表すことができることの確認を行った。テストパイプのサイズは、直径150mm、長さ1000mmである。今年度は、同サイズのものを、高性能を期待されている真空溶解無酸素銅(クラス1)とステンレス銅、(SUS-316)にTiNコーティングを施したものについて用意し、これらについてガス放出特性の評価を行った。特にTiNコーティング処理は、実験室的規模では均一な特性のよい膜が得られているが、実用的なサイズのパイプの全内面に高性能のTiNを得るには、広範囲に一様な膜厚を能率良く実現すること等、技術的にも困難な問題がある。このため、専用の真空装置を用いて、装置内で対象とするパイプを一定の速度で移動させて、得られるコーティング膜厚の一定化を図った。多くの試行錯誤の結果、ほぼ一様な膜厚のコーティングが得られ、排気特性が調べられた。本年度は、上記のTiNコーティングのステンレスパイプの他、無酸素銅(クラス1)についていくつかの処理を施してテストが行われた。結果は、いずれも既に試験済みのものに比べ約%以上T_<-5>短縮され、排気性能の良さが確認された。特にTiNコーティングされた試料は最も良く、ベーキング処理なしで、無酸素銅(クラス1)をベーキング処理したものと結果とほぼ同程度であった。無処理のSUS-316パイプと比較すれば、TiNコーティングされたSUS-316パイプは、約40%のT_<-5>の減少が確認される。一方、BN表面層を形成する方法も有望であり、目下検討中である。

Research Products
(6 results)

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All Publications (6 results)

[Publications] Y.Ogawa,S.Michizono,Y.Saito and G.Horikoshi: "Double-balanced bellows for vibration isolation between the inside and outside of a vacuum; Application to gravitational-wave experiments" Vacuum,12th International Vacuum Congress/8th International Conference on Solid Surfaces.
[Publications] M.Mushiaki,et al.: "LaB_6 coating for reduction of outgassing rate of vacuum wall" Material Science and Engineering,12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on solid surfaces.
[Publications] N.Matsuda,et al.: "Reduction of outgassing rate from SUS316 and OFC class 1 by prebaking in a vacuum funace;Application to gravitational-wave experiments" Vacuum; 12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on Solid Surfaces.
[Publications] Y.Saito,K.Kakihara and G.Horikoshi: "Pressure distribution analysis of the KEK 2.5 GeV linac" Vacuum; 12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on Solid Surfaces.
[Publications] 堀越源一他: "真空系" 重力波アンテナ技術検討書干渉計ハンドブック(1992,10月).
[Publications] 山本佳紀,永井康睦,斉藤芳男,松田七美男: "無酸素銅ダクトの初期排気特性" 真空. 36. (1993)

1992 Fiscal Year Annual Research Report

長基線レーザー干渉計のための大規模高速排気超高真空系の開発研究

Principal Investigator

堀越 源一 筑波技術短期大学, 電子情報学科, 教授 (90023697)

Research Products

[Publications] Y.Ogawa,S.Michizono,Y.Saito and G.Horikoshi: "Double-balanced bellows for vibration isolation between the inside and outside of a vacuum; Application to gravitational-wave experiments" Vacuum,12th International Vacuum Congress/8th International Conference on Solid Surfaces.

[Publications] M.Mushiaki,et al.: "LaB_6 coating for reduction of outgassing rate of vacuum wall" Material Science and Engineering,12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on solid surfaces.

[Publications] N.Matsuda,et al.: "Reduction of outgassing rate from SUS316 and OFC class 1 by prebaking in a vacuum funace;Application to gravitational-wave experiments" Vacuum; 12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on Solid Surfaces.

[Publications] Y.Saito,K.Kakihara and G.Horikoshi: "Pressure distribution analysis of the KEK 2.5 GeV linac" Vacuum; 12th Internl.Vac.Congr./8th Internl.Conf.on Solid Surfaces.

[Publications] 堀越 源一他: "真空系" 重力波アンテナ技術検討書干渉計ハンドブック(1992,10月).

[Publications] 山本 佳紀,永井 康睦,斉藤 芳男,松田 七美男: "無酸素銅ダクトの初期排気特性" 真空. 36. (1993)

堀越源一筑波技術短期大学, 電子情報学科, 教授 (90023697)

[Publications] 堀越源一他: "真空系" 重力波アンテナ技術検討書干渉計ハンドブック(1992,10月).

[Publications] 山本佳紀,永井康睦,斉藤芳男,松田七美男: "無酸素銅ダクトの初期排気特性" 真空. 36. (1993)