1993 Fiscal Year Annual Research Report
セラミックスおよびセラミック複合材料のX線応力測定法の確立
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04302027
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
田中 啓介 名古屋大学, 工学部, 教授 (80026244)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
三好 良夫 大阪大学, 基礎工学部, 助教授 (40029434)
英 崇夫 徳島大学, 工学部, 教授 (20035637)
吉岡 靖夫 武蔵工業大学, 工学部, 教授 (40061501)
広瀬 幸雄 金沢大学, 教育学部, 教授 (20019425)
鈴木 賢治 新潟大学, 教育学部, 助教授 (30154537)
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| Keywords | X線応力測定 / 残留応力 / セラミックス / セラミック複合材料 / セラミックコーティング / X線的弾性定数 / 薄膜 / 破壊力学 |
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| Research Abstract |
1.アルミナおよび窒化ケイ素の共通測定の結果,前者についてはFe-Kα線による2.1.10回折,後者についてはV-Kα線による411回折が精度が高く,標準的測定条件を設定する上での基礎が固められた.
2.低角入射X線法を用いることによって,セラミックスの研削面極近傍の残留応力分布を非破壊的に測定することが可能となった.
3.イメージングプレートをX線回折像の記録に利用し,記録像をcosα法によって解析することから,微小領域の高精度X線応力測定が可能となった.
4.SiC強化アルミニウム合金を始めとする複合材料の相応力を,応力の3軸性を考慮して解析することに成功した.
5.CVD法でコーティングしたTiC膜の残留応力測定結果をもとに,残留応力の形成要因に対する知見を得た.
6.スパッタリング生成したAlN膜のc軸配向性を考慮したX線応力解析法を提案し,残留応力の基板温度依存性を明らかとした.
7.ジルコニア(Y-TZP)の研削残留応力のX線測定をもとに,曲げ強度の解析がなされた.さらに,R曲線法を用いたセラミックスの微小欠陥からの破壊強度解析モデルに対し,実験的な面からもモデルの妥当性を支持する結果が得られた.
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[Publications] 鈴木賢治: "セラミックスの微小欠陥からの破壊強度のR曲線法による評価" 日本機械学会論文集(A編). 59. 1292-1299 (1993)
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[Publications] 鈴木賢治: "研削された部分安定化ジルコニア(Y-TZP)の曲げ強度" 日本機械学会論文集(A編). 59. 1353-1359 (1993)
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[Publications] 英崇夫: "スパッタリング生成によるAlN膜の残留応力の基板および基板温度依存性" 材料. 42. 627-633 (1993)
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[Publications] 坂井田喜久: "低角入射X線法によるセラミックスの研削残留応力分布の評価" 材料. 42. 641-647 (1993)
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[Publications] Keisuke Tanaka: "X-Ray Measurement of Triaxial Residual Stress in Ceramic Composite and Coating" Advances in X-Ray Analysis. 36. 543-550 (1993)
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[Publications] 吉岡靖夫: "イメージングプレートによる微小領域のX線応力測定" 非破壊検査. 42. 669-673 (1993)
