1993 Fiscal Year Annual Research Report
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04555030
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| Research Institution | RITSUMEIKAN UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
大南 正瑛 立命館大学, 理工学部, 教授 (60066587)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
吉田 敏博 (株)日立製作所, ストレージシステム事業部, 副参事
河合 末男 (株)日立製作所, 半導体開発センタ, 部長
坂根 政男 立命館大学, 理工学部, 助教授 (20111130)
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| Keywords | 電子デバイス / 薄膜 / 弾性定数 / ヤング率 / 曲げ試験 / 固有振動数 |
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| Research Abstract |
1.薄膜の動的弾性定数を計測するため,薄膜つきガラス基盤とガラス基盤単体との固有振動数差から薄膜のヤング率を測定する装置を開発した.開発した振動リード試験装置は,振動数を分解能10桁/1秒ゲートで最大1.5KHzまで計測可能である。また,振幅は分解能0.5mum,測定範囲±0.5mmで計測可能である.振動リード試験装置の性能確認試験を行った.同試験装置の加振部のスピーカー部は,負荷する電圧と良好な直線関係を有することが確認された.また,ガラス基盤の振動について振幅を試料上で計測した結果,ねじり振動等のモードは確認されず,1次のモードの振動のみが観察された.
2.レーザー変位計により計測した振動数は,ファンクション・シンセサイザの発生した振動数に関して±0.15×10^<-0.3>Hzの範囲で一致していることが確認された.すなわち,ガラス基盤の振動数を高精度で安定して計測することが可能であり,計測された振動数は充分な信頼性を有することが判明した.
3.ガラス基盤の掃引試験から,ガラス基盤の固有振動数が500Hzで上昇することが確認された.すなわち,本試験装置により,固有振動数を決定するための試料の固有振動数における振幅上昇を捉えることが可能であることを確認した.
4.今回開発した動的弾性定数計測装置を用いて,Cr薄膜のヤング率を測定した結果,前年度のCo-Ta-Zr薄膜と同様に,膜厚の減少に伴ってヤング率が上昇することが判明した。
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[Publications] 橋本清司: "電子デバイス用薄膜のヤング率測定用精密3点曲げ試験装置の開発と測定例" 材料. (掲載・決定).
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[Publications] Kiyoshi Hashimoto: "Young's Modulus of Thin Films Measured by High Resolution Three-Points Bending Machine" ASME 1994 WAN Symposin on Materials a Mechamcs in Electric Pachaging for the 21st Century. (1994)
