• Search Research Projects
  • Search Researchers
  • How to Use
  1. Back to project page

1992 Fiscal Year Annual Research Report

無電極大気圧高純度プラズマの実用化研究

Research Project

Project/Area Number 04558001
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

嶋田 隆一  東京工業大学, 原子炉工学研究所, 教授 (40206181)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 三野 薫  富士電波工機(株), 研究職
玉川 徹  東芝(株), 重電研究所, 研究職
鈴木 正昭  東京工業大学, 原子炉工学研究所, 助教授 (70114874)
Keywordsプラズマ / アルゴン / ヘリウム / 熱平衡 / 安定放電 / 物質分解 / 微量分析
Research Abstract

1.アルゴンガス大気圧のトーラス放電の生成は安定に得られている。プラズマの温度密度について分光測定により測定することが出来た。放電形成に必要な電圧、電力についての知見について電気学会論文誌に投稿中である。
2.ヘリウムガスについても、試みたがヘリウムでの大気圧放電は得られていない。放電電流の熱的ピンチが熱伝導の良さの為か多くの電力損失を起こしていると推測される。次年度に引き続き行う。
3.マイクロ波による大気圧放電はアルゴン、ヘリウムで安定に得られている。これは新開発の電界強化型キャビティーの効果である。
4.今年から始めたRFによる誘導トーチ(ICP)は、世界でもあまり例の無い40MHzを採用し、ヘリウムの安定放電が得られている。ヘリウムの動粘性係数の大きさ故に旋回流の効果的な発生が不可能であったのが原因でこれをヘリウム用の旋回流ノズルを付けることによって解決した。
5.1のトーラス形矢状大気圧放電管中にベンゼン環を含む物質(ベンゼン)を入れてPCBをシミュレートしたが、アセチレンが検出されるなど物質分解の可能性が確認できた。
6.これらの大気圧プラズマの電子温度、密度を分光測定により調べ、比較することが出来たがどれも同じような値で、プラズマへの入力によって決まるものと考えられることがわかった。

URL: 

Published: 1994-03-23   Modified: 2016-04-21  

Information User Guide FAQ News Terms of Use Attribution of KAKENHI

Powered by NII kakenhi