1993 Fiscal Year Annual Research Report
傾斜照明と能動的瞳制御による縮小投影光学系の分解能と焦点深度改善
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04650049
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| Research Institution | Osaka Electro-Communication University |
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Principal Investigator |
生田 孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
岸岡 清 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (50109881)
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| Keywords | ステッパー / 3次元結像特性 / 3次元光学伝達特性 / 能動型画像処理 / 能動型合成結像法 / 傾斜照明 / 円環状開口フィルター / 能動型投影光学系 |
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| Research Abstract |
近年のLSI高集積度化に伴って、投影露光法(ステッパー)におけるパターン微細化が強く要求されている。しかしながら高分解能化に伴って起きる焦点深度の低下が重要な問題点として指摘されてきた。本研究は3次元OTFに基づく結像特性の評価と能動的合成の手法を投影露光法の縮小投影光学系に適用、高い分解能と深い焦点深度とを両立させた能動的投影光学系の実現を目的とする。
第2年度は、このような能動的な照明光の方位回転と瞳面開口フィルターの同期回転(変調)を組み合わせた能動的な投影光学系の実証モデル試作と問題点把握が主たる課題である。まず最重要部品である透過度分布付き瞳面開口フィルターの製作に関しては、当初金属蒸着などによらずとも円環瞳の円環幅を変化させることで透過度分布を代替できると考え、これに基づいた円環幅可変型瞳面開口フィルターを製作、能動的投影光学系の評価実験を試みたが、中域OTFの向上は明確に確認できたものの、直接透過波によるバックグラウンド強度が相対的に増加し、所定の効果を示さないと判断された。いくつかの試行錯誤をへて微小ピッチ(10数ミクロン)の金属メッシュを吸収体として円環幅可変型瞳面開口フィルターの所定部分に取り付けたものを最終的に試作した。この様な瞳面開口フィルターを用いた結像特性評価実験の結果、金属メッシユを用いない場合と比較して1.5倍程度のコントラスト向上が認められた。現段階では吸収体での損失による光強度の低下がかなり大きいこと、並びにコントラスト改善の程度が予想より少ないことにより実用的な露光技術に直結するものではないが、将来的な焦点深度拡大露光法として期待できるものである。
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