1993 Fiscal Year Annual Research Report

超硬質膜のマイクロトライボロジーの研究

Research Project

Project/Area Number	04650072
Research Institution	Nippon Institute of Technology
Principal Investigator	三宅正二郎日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	渡部修一日本工業大学, 工学部, 講師 (60220886)
Keywords	マイクロトライボロジー / ダイヤモンドライクカーボン膜 / ダイヤモンド膜 / イオン注入 / フッ素処理 / 走査型プローブ顕微鏡
Research Abstract	すでに前年度までに確立した技術を適用し、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜・ダイヤモンド膜・立方晶窒化ホウ素膜を形成した。さらに低摩擦特性を付与するため、それらの超硬質膜についてプラズマによるフッ素化、イオン注入処理などの表面改質を行った。これらの試験片について走査型プローブ顕微鏡(SPM)を用いnN〜muN荷重領域の摩耗試験および摩擦試験を行い、マイクロトライボロジー特性を明らかにした。主な結果を以下に示す。 1.DLC膜についてシリコン含有、窒素含有によってマイクロ摩耗特性は著しく改善される。さらに表面のフッ素化によりマイクロ荷重領域における摩擦を低減できる。 2.ダイヤモンド膜についてフッ素化、窒素イオン注入による摩擦低減効果を明らかにした。さらにマイクロ摩耗に及ぼす影響を求めた。 3.SPMを用いた原子オーダの摩擦、摩耗に関する評価技術を構築し、マイカ(白雲母)、黒鉛、ダイヤモンドなどの評価に適用し、表面の吸着水の影響など原子オーダの摩擦、摩耗メカニズムを追求した。これらの結果は情報機器で課題となるマイクロトライボロジーにおけるゼロ摩耗を実現する表面構造設計、評価法の指針を与えるものと考えられる。

Research Products
(13 results)

All Other

All Publications (13 results)

[Publications] S.Miyake et al.: "Microtribological Improvement of Carbon Film by Silicon Inclusion and Fluorination" Wear. 168. 155-159 (1993)
[Publications] S.Miyake et al.: "Tribological improvement of thin carbon layers by ion beam enhanced depositon" Diamond Films and Technology. 3. 167-176 (1994)
[Publications] S.Miyake: "Microtribology of Carbonaceous Films-Approach to the Atomic Scale Zero Wear-" 3rd IUMRS Intl.Conf.on Advanced Materials,. VBb2.1(印刷中). (1993)
[Publications] S.Miyake et al.: "Tribological Improvement of Thin Carbon Layers by Ion Beam Enhanced Depositon(IBED)" 2nd Intl.Conf.on the Appln.of Diamond Films and Related Materials. 649-654 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他5名: "窒素含有カーボン膜の形成とトライボロジー" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 227-230 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他5名: "窒素含有カーボン膜の形成とマイクロスクラッチ硬度" 第7回ダイヤモンドシンポジウム. 58-59 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他2名: "フッ素化ダイヤモンド薄膜のトライボロジー" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 223-226 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他2名: "イオン注入ダイヤモンド薄膜のマイクロトライボロジー特性" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 39-43 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他3名: "走査型プローブ顕微鏡によるマイカのマイクロ摩擦・摩耗評価" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 51-54 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他3名: "摩擦力顕微鏡による黒鉛、二硫化モリブデンの原子像観察" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 59-62 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他3名: "走査型プローブ顕微鏡による黒鉛の原子像観察とフッ素化による特性の変化" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 383-386 (1993)
[Publications] 三宅正二郎他2名: "マイカの原子摩耗とそのナノ加工への応用" トライボロジー会議'94東京. (発表予定). (1994)
[Publications] 三宅正二郎他4名: "ダイヤモンド膜およびフッ素化ダイヤモンド膜表面のマイクロ摩擦特性" トライボロジー会議'94東京. (発表予定). (1994)

1993 Fiscal Year Annual Research Report

超硬質膜のマイクロトライボロジーの研究

Principal Investigator

三宅 正二郎 日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)

Research Products

[Publications] S.Miyake et al.: "Microtribological Improvement of Carbon Film by Silicon Inclusion and Fluorination" Wear. 168. 155-159 (1993)

[Publications] S.Miyake et al.: "Tribological improvement of thin carbon layers by ion beam enhanced depositon" Diamond Films and Technology. 3. 167-176 (1994)

[Publications] S.Miyake: "Microtribology of Carbonaceous Films-Approach to the Atomic Scale Zero Wear-" 3rd IUMRS Intl.Conf.on Advanced Materials,. VBb2.1(印刷中). (1993)

[Publications] S.Miyake et al.: "Tribological Improvement of Thin Carbon Layers by Ion Beam Enhanced Depositon(IBED)" 2nd Intl.Conf.on the Appln.of Diamond Films and Related Materials. 649-654 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他5名: "窒素含有カーボン膜の形成とトライボロジー" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 227-230 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他5名: "窒素含有カーボン膜の形成とマイクロスクラッチ硬度" 第7回ダイヤモンドシンポジウム. 58-59 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他2名: "フッ素化ダイヤモンド薄膜のトライボロジー" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 223-226 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他2名: "イオン注入ダイヤモンド薄膜のマイクロトライボロジー特性" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 39-43 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他3名: "走査型プローブ顕微鏡によるマイカのマイクロ摩擦・摩耗評価" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 51-54 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他3名: "摩擦力顕微鏡による黒鉛、二硫化モリブデンの原子像観察" トライボロジー会議'93春東京予稿集. 59-62 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他3名: "走査型プローブ顕微鏡による黒鉛の原子像観察とフッ素化による特性の変化" トライボロジー会議'93秋名古屋予稿集. 383-386 (1993)

[Publications] 三宅正二郎他2名: "マイカの原子摩耗とそのナノ加工への応用" トライボロジー会議'94東京. (発表予定). (1994)

[Publications] 三宅正二郎他4名: "ダイヤモンド膜およびフッ素化ダイヤモンド膜表面のマイクロ摩擦特性" トライボロジー会議'94東京. (発表予定). (1994)

三宅正二郎日本工業大学, 工学部, 教授 (70229813)