三次元多層構造光ディスクピットモデルの最適化に関する研究

1992 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 04650297
• Research Institution: Osaka Electro-Communication University
• Principal Investigator: 小嶋 敏孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20029309)
• Keywords: 光ディスク / 境界要素法解析 / 光ビーム散乱

Research Abstract

1。内外の文献および、国内の関連研究機関訪問等によって、三次元散乱体による電磁波散乱の境界要素による解析に関する研究の現状と問題点について調査をおこなった。その結果、三次元散乱の数値解析には、数波長程度の散乱体に対してさえ、かなりのメモリ容量と高速演算の計算機が必要であり、計算精度と経済性のトレードオフを計る必要がある。
2。現有のワークステーション(サンマイクロ社製スパーク2および1+)2台のメモリ容量を増強するためにSIMMを購入し、各60MBの領域を利用できるようにした。
3。完全導体上に設けられた方形ピットモデルに対するシミュレーションを行い、積分領域、分割面素の大きさ、分割数等によって計算精度がどのように変わるかを調べた結果、照射光ビームの強度が大きい中心部分を十分細かく分割する必要があることが明らかになった。また、ここでのシミュレーションでは、一辺が半波長の方形ピットにスポットサイズ内の照射面積がピットの断面積の2倍としたが、それに対して積分領域は3波長程度でほぼ満足できる結果が得られることがわかった。
4。隣接案内溝と信号ピットが同時に存在するモデルのシミュレーションを試みた。その結果、必然的に積分領域が広がり、散乱パターン一つを得るのに10時間程度のCPUタイムが必要であることがわかった。
5。更に、一般的なモデル(例えば多層構造誘電体モデル等)にアプローチするためには、現有の装置ではかなり無理があるので、より高性能のシステムが必要である。

Research Products

• [Publications] 小嶋 敏孝: "三次元光ディスクピットモデルからの光ビーム散乱" 電気学会電磁界理論研究会資料. EMT-92. 75-84 (1992)
• [Publications] T.Kojima: "Analysis of intensity distribution of a light beam in a photo-resist layer" 電気学会電磁界理論研究会資料. EMT-92. 95-104 (1992)
• [Publications] T.Kojima: "3D boundary-element method analysis of the light beam scattering from arbitrarily shaped pits on a condaceing plane" Proc.1992 URSI International Symposium on Electromagnetic Theory. Vol.1. 356-368 (1992)
• [Publications] 小嶋 敏孝: "ランダム面からの光ビーム散乱ー計算機シミュレーションによる解析ー" 電気学会電磁界理論研究会資料. EMT-92. 19-27 (1992)
• [Publications] T.Kojima: "Boundary-element method analysis of the intensity distribution of a light beam in a photoresist layer in mastering process of optical discs" Proc.1992 International Symposium on Antennas and Propagation. Vol.1. 53-56 (1992)
• [Publications] 小嶋 敏孝: "レーザカッティングにおけるフォトレジスト層内の光強度分布の境界要素法による解析" 電子情報通信学会春季大会講演論文集. 4. 4-410- (1992)