1993 Fiscal Year Annual Research Report
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04650382
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| Research Institution | KYUSHU UNIVERSITY |
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Principal Investigator |
円福 敬二 九州大学, 工学部, 助教授 (20150493)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
木須 隆暢 九州大学, 工学部, 助手 (00221911)
吉田 啓二 九州大学, 工学部, 助教授 (80108670)
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| Keywords | 高温超伝導薄膜 / カイネティックインダクタンス / 非線形インダクタンス / 磁場侵入長 / 電流分布 |
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| Research Abstract |
超伝導薄膜に特有なカイネティックインダクタンスを用いた高感度光センサの開発が近年開始されている。このセンサでは、光照射によって生じた微少な温度上昇を薄膜のカイネティックインダクタンスの変化として検出する。本研究ではこの際の変換効率を決定するカイネティックインダクタンスの特性を明らかにし、その改善のための指針を得る事を目的としている。以下に本研究で得られた結果を示す。
(1)光センサの高感度化のためには薄膜の厚さを磁場侵入長に比べて非常に薄くすることが有効であることを示し、この場合のカイネティックインダクタンスの特性を明らかにした。またその実現のために必要な、非常に薄い膜の製作技術を確立した。
(2)カイネティックインダクタンスの特性は薄膜内の電流分布に強く依存することを示し、その形状効果を明らかにした。この結果を基に、光センサの高感度化のために有効な薄膜の形状を示した。
(3)高温超伝導薄膜(YBaCuO薄膜)はその電気的特性に異方性を示すため、この異方性の影響を明らかにした。その結果、a軸配向膜を用いることによりカイネティックインダクタンスの特性が大幅に向上し、光センサの変換効率の改善に有効であることを示した。
(4)YBaCuO薄膜のカイネティックインダクタンスを利用した光センサを試作し、その性能評価を行なった。センサの性能向上のためには、光の効率的な照射法や基板の熱的特性、薄膜の雑音特性等の改善が必要である。
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[Publications] 木須 隆暢: "オフアクシス YBaCuOスパッタ成膜における水蒸気添加効果" 電子情報通信学会論文誌. J76-C-II. 351-356 (1993)
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[Publications] Kenji Enpuku: "Modalation of kinetic inductance of high Te Superconducting thin films with bias current" Japanese Journal of Applied Physics. 32. 3804-3810 (1993)
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[Publications] 円福 敬二: "YBaCuO薄膜のカイネティックインダクタンス(II)" 電子情報通信学会技術報告. SCE93-23. 33-38 (1993)
