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2006 Fiscal Year Annual Research Report

サーフェスエンコーダを搭載した次世代高速高精度Sawyer型平面モータの研究開発

Research Project

Project/Area Number 04J03393
Research InstitutionTohoku University

Principal Investigator

田野 誠  東北大学, 大学院工学研究科, 特別研究員(DC1)

Keywords精密位置決め / 計測制御 / サーフェスエンコーダ
Research Abstract

1.超精密旋盤と高速工具サーボ機構による円筒加工に加え,平面にも同様に計測基準面の加工を行った.平面マスタを用いてシリコンゴムの一つであるPDMS(ポリジメチルシロキサン)転写を行い,厚さ100μmの計測基準面を得ることに成功した.この方法においてもUV転写と同様に振幅方向でほぼ100%転写されていることを確認している.昨年度行ったUV転写とあわせて2種類の方法で厚さ100μmの計測基準面を創成することに成功した.以上から転写による計測基準面創成方法の有効性を示した.
2.大型のSawyer型平面モータシステムを用いて位置決めシステムを構築した.1.のPDMS転写および円筒マスタを用いたUV転写により得られたフィルム状の計測基準面をSawyer型平面モータのプラテン面に貼り付け,フォーサ側に2次元角度センサを搭載してサーフェスエンコーダを構成した.また,2次元角度センサの信号処理回路をフォーサに取り付けることで外部には制御器のみというシンプルな構成にした.制御器にはDSPを用いることで高速な制御が可能となっている.以上のような構成のステージシステムでクローズドループ制御によるXYθz3自由度駆動の位置決め実験を行った.オープンループの位置決め精度50μmと比較して,XY方向に±100nm,θz方向に±4arcsecまで位置決め精度が向上することを示した.以上によって,本研究で提案するステージシステムの有効性を示した.

  • Research Products

    (5 results)

All 2006

All Journal Article (5 results)

  • [Journal Article] On-machine measurement of a cylindrical surface with sinusoidal micro-structures by an optical slope sensor2006

    • Author(s)
      Wei Gao
    • Journal Title

      precision Engineering 30・1

      Pages: 274

  • [Journal Article] construction of a Measurement and Control System for a Sawyer Motor-driven Planar Motion Satage2006

    • Author(s)
      Tano Makoto
    • Journal Title

      Nanotechnology and Precision Engineering 4・3

      Pages: 182

  • [Journal Article] Precision fabrication of a large-area sinusoidal surface using a Fast-Tool-Servo technique2006

    • Author(s)
      Wei GAO
    • Journal Title

      JSME International Journal C 49・4

      Pages: 1203

  • [Journal Article] カセンサ付高速工具サーボ機構に関する研究2006

    • Author(s)
      田野誠
    • Journal Title

      2006年度精密工学会秋季大会講演論文集

      Pages: 157

  • [Journal Article] Integration of a Force Sensor into a Fast-Tool-Control Unit for Fabrication of Large Area Microlens Array2006

    • Author(s)
      M.Tano
    • Journal Title

      Proc. of International Symposium on Precision Mechanical Measurements

      Pages: 38

URL: 

Published: 2008-05-08   Modified: 2016-04-21  

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