1993 Fiscal Year Annual Research Report
電子衝撃にする表面吸着分子からの短寿命負イオン生成過程の研究
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05237230
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| Research Institution | Sophia University |
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Principal Investigator |
田中 大 上智大学, 理工学部, 教授 (20119134)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
L ボーステン 上智大学, 理工学部, 助教授 (10119141)
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| Keywords | 低エネルギー電子 / 短寿命負イオン / 共鳴 / 解離性付着 / 振動励起 / 吸着分子 |
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| Research Abstract |
低エネルギー電子と分子の衝突過程では、電子が一時的に分子に捕えられ、短寿命負イオン状態(共鳴状態)を形成する事がある。この過程は、衝突電子のエネルギーに強く依存し、分子の振動状態と深く関わり、分子の解離付着過程に大きな効果をもたらす。本研究は孤立分子系と、固体表面上に吸着した分子系とにおける、短寿命負イオン状態生成の比較を行うことを目的にした。
孤立分子系については、GeH_4,Si_2H_6,C_3H_6,C_3H_4,C_2F_6,NF_3,の各気相分子と低エネルギー電子衝突で、分子の振動励起断面積に、短寿命負イオン状態が、共通に現われることを観測することに成功した。また、分子の対称性、角相関理論を適用することで、それら負イオン状態の電子状態を組織的に解析し、負イオン状態生成機構で多くの新しい知見を得ることができた。結果は、論文として発表した。
吸着分子系については、既存の装置に本年度の計画に従い、装置の増設、改良を行った。代表的なエッチング分子NF_3について予備実験を現在進めており、途中経過を日本物理学会で発表する。
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Research Products
(4 results)
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[Publications] M.A.Dillon: "Elastic Scattering and vibrational excitation cross sections for electron collisions with GeH_4" J.Phys.B.26. 3147-3158 (1993)
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[Publications] 田中 大: "反応性プラズマ中の衝突励起過程" 応用物理. 62. 695-698 (1993)
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[Publications] M.A.Dillon: "Elastic and vibration ally inelastic cross sections for electron scattering from Si_2H_6" J.Phys.B. 27(in press). (1994)
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[Publications] L.Boesten: "Elastic and vibrational excitation cross sections for electron scattering with propane" J.Phys.B. 27(in press). (1994)
