1994 Fiscal Year Annual Research Report
走査型反射電子線ホログラフィー電子顕微鏡(SREHM)の開発
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05402028
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| Research Institution | Osaka University |
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Principal Investigator |
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
生田 孝 大阪電気通信大学, 応用電子工学科, 教授 (20103343)
木村 吉秀 大阪大学, 工学部, 助手 (70221215)
高井 義造 大阪大学, 工学部, 助教授 (30236179)
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| Keywords | 反射電子顕微鏡法 / 表面反応の動的観察 / 反射電子線ホログラフィー / 高輝度電子銃 / 超高真空試料ホルダー / 表面再構成 |
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| Research Abstract |
超高真空試料室の改造を行い、反射型電子顕微鏡法(REM)による固体清浄表面のその場観察を可能にした。又、通電加熱型2軸傾斜試料ホルダーを試作し、REM観察を行うことに成功した。得られた成果は次の通りである。
(1)試料室の真空度を〜2×10^<-9>Torr以下に抑えてREM観察が出来るようにした。
(2)2軸傾斜試料ホルダーを試作し、REM観察における最適条件を設定することが、きわめて容易になった。
PtおよびAu試料表面のREM観察を行い、表面物性上有用な知見を得ることが出来た。
ツェナダイオードを連続させた高圧印加方式の開発に成功し、Zr-0/W(100)高輝度電子銃の最適条件での使用に成功し、電子線ホログラフィーが実現出来る見通しを得た。
目的とした走査型反射電子線ホログラフィー電子顕微鏡(SREHM)の実現のための基本構成の開発に成功した。
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[Publications] T.Akita,H.Matsuo,Y.kimura,R.Shimizu: "A New Specimen Holder for UHV-REM" J.Electron Microscopy. 43. 332-336 (1994)
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[Publications] K.Ogai. Y.Kimura R.Shimizu: "Dynamic Observation of Microelectric field in an Oxide superconducting material by Electron Interfer ence microscopy" Ultra microscopy. 54. 345-350 (1994)
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[Publications] Y.Kimura,Y.Taniguchi T.Ando.R.Shimizu: "a pratical method for modulation of accelerating voltage for active modulation image precessing electron microscopy" Optik. 95. 185-186 (1994)
