1994 Fiscal Year Annual Research Report
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05402036
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
畑村 洋太郎 東京大学, 工学部, 教授 (40010863)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
光石 衛 東京大学, 工学部, 助教授 (90183110)
佐藤 知正 先端科学技術センター, 教授 (50235371)
森下 広 (有)HMI, 代表取締役研究員
中尾 政之 東京大学, 工学部, 助教授 (90242007)
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| Keywords | 微細加工 / マイクロマシン / 微細組立 / 高速原子線 / 紫外線レーザ / 振動切削 |
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| Research Abstract |
平成5年度に引き続き、当該研究として、1)マイクロ工具、2)ナノマニピュレータ、3)臨場感支援システム、4)支配要因変換ソフトウェア、などの開発を主に行ったが、平成6年度の成果は次の通りである。
1)マイクロ工具の開発 全体の大きさが数10μmの立体的な微小構造体を真空中で自由に着脱できる静電気工具や、上述の微小構造体を加工できる振動切削工具を、従来の機械工学の知識を応用して開発した。さらに、その立体的な微小構造体を0.1μmオーダと精密に加工するため、高速原子線を照射するマイクロエッチングを行った。ここでも機械加工の知識を応用し、工作機械のように被加工物を3次元的に回転させて、立体的な微小構造を加工した。
2)ナノマニピュレータの開発 既存の並進精密運動機構(12自由度)に、円弧ガイドによる回転運動機構(8自由度)を加えた真空用「集動マニピュレータ」を設計・製作した。これは各軸の回転中心と被加工物と焦点領域とが3者同じ場所に配されるものである。これと上記のマイクロ工具とを用いると、微小な3次元作業が容易にできる。
3)臨場感支援システムの開発 力覚支援のために μNオーダの微小力を検知できる力センサと、視覚支援のために多面視顕微鏡とを開発し、作業者に音・力・立体画像などを通して、微小作業時の臨場感を与えるシステムを試みた。
4)支配要因変換ソフトウェア 上記の力センサによって、微小世界と通常世界との作業力のちがいを定量的に把握し、そのちがいが作業者に苦痛を与えないような、ファイルセーフソフトウェアを試作した。
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Research Products
(5 results)
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[Publications] M.Nakao: "Micro Manufacturing System to Realize Micro 3-D Structures" Proceedings of Japan-U.S.A.Symposium on Flexible Automation. 717-720 (1994)
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[Publications] Yotaro Hatamura: "Construction of Nauo Manufacturing World" Proceedings of Micro System Technologies'94. 37-51 (1994)
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[Publications] M.Nakao: "Integration of 3-D Shape Construction and Assembly to Realize Micro Systems" Proceedings of Micro System Technologies'94. 633-642 (1994)
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[Publications] Masayuki Nakao: "Micro Assembly in Vacuum under 3D-SEM" 日本機械学会 第72期通常総会講演会. (1995)
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[Publications] Masayuki Nakao: "Structure and Working Characteristic of Concentrated Motion Manipulator in Nauo Manufacturing World" 日本機械学会 第72期通常総会講演会. (1995)
