1994 Fiscal Year Annual Research Report
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05452018
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
田原 譲 名古屋大学, 理学部, 助手 (10135296)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
国枝 秀世 名古屋大学, 理学部, 助教授 (00126856)
山下 広順 名古屋大学, 理学部, 教授 (80022622)
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| Keywords | X線望遠鏡 / X線光学 / 超精密加工 / コーティング / 表面粗さ |
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| Research Abstract |
今年度は、まず可視光による結像性能評価装置の整備とこれを用いた評価測定を行なった。フォイル・ミラーの形状評価を簡便に高い精度で行なえる評価装置としては、非接触でかつ0.1μmの精度で被測定物までの距離が測れるセンサーを精密移動台(上下)と組み合わせたものを製作した。まず最初にASCAミラーのフォイルをランダムに10枚選び、100mmにわたって軸方向プロファイルを測った。短いスケールでのステージ揺動によるノイズ成分を除き、スロープ分布を求めた結果、RMSは0.52分角,2段のHPDに換算すると1.97分角となり、移動台の精度は必ずしも十分ではなかったが、基準ミラーによる較正により長さ100mmでの鏡面形状評価における有効性が確認された。
つぎにアラインメントの精度の向上による結像性能の改良のため「ハウジング中のフォイル形状の評価とアラインメント法の改良検討」のための形状評価専用ハウジングの製作を行なった。これは内側の開いたフォイル2-3枚用のハウジングで専用のアラインメント・バ-を用意しASCAと同様の支持方式でレプリカ・ミラーを組み込んで、直接ミラー形状を評価できるようにするもので、これを用いてアラインメント・バ-の溝幅をどこまで減少できるか、溝の構造を工夫してアラインメント精度を上げられないか、などの検討が行なえるようになった。
超薄肉切削鏡面基板の表面粗さについては、今年度新たにアクリルコーティング以外の方法を検討下。これはアルミ面に付けたニッケル面の研磨法でその有効性が確認された。現在は未だフラットな鏡面サンプルであるが、細いX線ビームの反射プロファイルを測定しX線鏡面として十分な表面粗さであることが確認された。
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