1994 Fiscal Year Annual Research Report
プラズマ電離場中を通過する薄膜物質の分子流体的特性の解明
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05452151
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| Research Institution | Mie University |
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Principal Investigator |
加藤 征三 三重大学, 工学部, 教授 (30023229)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
丸山 直樹 三重大学, 工学部, 助手 (20209703)
宇佐美 勝 三重大学, 工学部, 助教授 (10106974)
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| Keywords | プラズマ / 材料プロセス / モンテカルロ法 / 分子動力学 / 分子軌道法 / 化学反応 / レーザ誘起螢光 / プラズマ計測 |
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| Research Abstract |
プラズマを利用して薄膜物質と活性化し、基板上で化学反応を促進させて薄膜作成するプロセスにおいて、工業的に課題になっている膜厚分布、成膜速度、歩留り率、膜質調整などの予測と最適条件及びその最適制御に資するため(1)プロセス装置内におけるガス流動解析、(2)プラズマ電離粒子の飛行解析、(3)基板界面反応の解明、(4)最適条件と制御、などに関する解析と実験を進めた。(1)においては、MC法ではあるが、実用的設計に供するため高速化のための学習機能を付与したインテリジェントMC計算法を提案した。(2)については電子の厳密な運動解析は量子効果が顕著であるが、第1次近似としてMD法を導入して、電場及び磁場の影響についても解析を進めた。(3)については、分子動力学に量子力学を導入すると共に、分子軟道法にまで立ち帰って化学反応を物理現象として把握することも試みている。これらはMD,MC,NSの各手法に対する境界条件と物理定数などマクロな値を計算によって与えることができる点で意義がある。実験においてはLIFによって一般的な希薄気体流の可視化と物理量計測が可能となった他、分光法や分子線法による計測も試みている。
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[Publications] 加藤,征三: "LDLIF/LD計測システムによる希薄気体流の計測と可視化" 日本機械学会論文集. B編60-577. 3058-3064 (1994)
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[Publications] 加藤,征三: "シースの経時変化を補償した静電探針法によるプラズマ診断システム(弱電離プラズマを対象とした円筒ブローブの適用)" 日本機械学会論文集. B編60-580. 4102-4107 (1994)
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[Publications] 加藤,征三: "超音波トモグラフィーによる三次元環境場の計測(軸対称の温度と炭酸ガス濃度場の(Tアルゴリズムと実験的検証)" 日本機械学会論文集. B編61-583(3月号掲載). (1995)
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[Publications] 加藤,征三: "Quantum Molewlar Orbital Analysio of Chemical Reacfions in Plasma Field" Proc.of Molecular Heat and Fluid Flows. (3月出版印刷中). (1995)
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[Publications] 加藤,征三: "Fundamartal Molewlar Dynamics Anrlyois of Charged Particle Motion in Plasma with Electvic and Magnetic Fields." Proc.of the 4H ASME/JSTE Thermal Eng.Jomit Conf.IV(3月出版印刷中). (1995)
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[Publications] 加藤,征三: "成膜プロセス装置内のガス流動解析(二次元成膜プロセスの簡易高速MC計算法)" 日本機械学会通常総会講演会講演論文集. (3月出版印刷中). (1995)
