1993 Fiscal Year Annual Research Report
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05452278
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| Research Institution | The University of Electro-Communications |
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Principal Investigator |
湯郷 成美 電気通信大学, 共同研究センター, 助教授 (80017392)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
橋本 満 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (20017388)
木村 忠正 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (50017365)
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| Keywords | ダイヤモンド核生成 / 核生成モデル / イオン効果 / 核生成制御装置 |
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| Research Abstract |
ダイヤモンド薄膜を応用するためにはエピタキシャル成長を実現しなければならない。
そのためには核発生機構を解明し、結晶成長を制御しなければならない。
本研究はイオンを利用して核発生を制御し、機構を解明することを目的としている。
初年度はこれまでの研究を整理し、機構の解明を行ない、それに基づく核発生モデルを提案した。さらに、このモデルに沿った装置の設計、製作を行なった。
本装置は炭素イオンを低エネルギーで照射できるよう設計されており、核形成、結晶成長をイオンエネルギーで制御することが可能となっている。
次年度にはこれらの装置を使って、当初の目的であるダイヤモンド核前駆体の生成機構を解明する。
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[Publications] S.Yugo,T.Kimura: "Mechanisms of diamond nucleation by energetic ions in plasma CVD" Diamond Materials(Proc,'93.ECS). P78-86 (1993)
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[Publications] S.Katsumata,S.Yugo: "New method selectine growth of diamond by microwave P-CVD" 2nd Int.Appl.dia Films and Related Materials. 501-504 (1993)
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[Publications] S.Yugo,K.Yamamori: "Diamond Nucleation on chemically-Pretreated Si Substrates by M-P-CVD" Diamond Films and Technology. 2. 177-182 (1993)
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[Publications] 湯郷 成美: "色形はかわれども黒鉛とダイヤモンドは兄弟" バウニダリー. 2月予定 10. (1994)
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[Publications] 湯郷 成美: "ダイヤモンドの核発生" 眞空. 6月予定. (1994)
