1994 Fiscal Year Annual Research Report
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05452278
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| Research Institution | The University of Electro-Communications |
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Principal Investigator |
湯郷 成美 電気通信大学, 共同研究センター, 助教授 (80017392)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
橋本 満 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (20017388)
木村 忠正 電気通信大学, 電気通信学部, 教授 (50017365)
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| Keywords | ダイヤモンド / 気相成長 / 核発生機構 / プリカーサ / イオン効果 |
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| Research Abstract |
(1)マイクロ波CVDに直流バイアスを重量して活性イオンを分離した。
(2)この活性炭素を基板に衝突させることにより、炭素クラスターを形成した。
(3)炭素クラスターにイオンが衝突することによりSp^2からSp^3相転移を行わせ、ダイヤモンド核のプリカーサ形成を行った。
(4)この過程は生成物のFE-SEM,X-TEM,XpS等の分析により確認した。
(5)この結果より初期の研究目的である核発生メカニズムおよび核前駆体形成のイオンエネルギーによるモデル構築に成功した。
(6)このモデルに立って核の高密度化(10^<12>/cm^2以上),選択成長(0.4μ幅ストライプ),ヘテロエピタキシ(60%部分的方位整合)など新しい応用についても報告した。
(7)このイオン効果による核形成モデル及びその応用について内外の学会で報告し高い評価を得た。
(8)今後はこの研究を基礎としてダイヤモンドヘテロエピタキシャル成長を完成させる計画である。
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[Publications] Shigemi Yugo: "Diamond Nucleation on Chemially-Pretreated Si by μ-CVD" Diamond Films and Technology. 2. 177-182 (1993)
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[Publications] S. Katsumata, S. Yugo: "New method for selective growth of diamonds by μ・wave-CVD" Diamond and Related Materials. 2. 1490-1492 (1993)
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[Publications] S. Katsumata, S. Yugo: "Submicron Seleetive Growth of Diamonds by μ wave clewical vapor Deposition" Diamond F=lms and Technology. 3. 199-207 (1994)
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[Publications] Shigemi Yugo: "General Approch to the Generation of Diamond Nuclei by the Bias." Proc. NIRIM Int. Symp. Advanced Materials. 103-108 (1994)
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[Publications] S. Yugo, K. Semoto: "Some Application of Diamond Nucleation by the Bias-pretreatment" Advances in New Diamond Science&Technology.175-178 (1994)
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[Publications] S. Yugo, T. Kimura: "A Modelling of Diamond Nucleation" Diawond and Related Materials. (in print).
