1995 Fiscal Year Annual Research Report
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05555038
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
中島 尚正 東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00011073)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
山田 孝弘 (株)アイシンコスモス研究所, 研究開発部, 研究員
村上 存 東京大学, 大学院・工学系研究科, 助教授 (20212251)
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| Keywords | マイクロマシン / 光造形法 / 可とう機構 / レーザー / 液位制御 |
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| Research Abstract |
1.非接触液面規制方式の検討
弾性変形する部分を持つマイクロマシンの製作にたいして本研究の光造形法を適用するには、本研究で採用している液面規制方式には問題があることが明らかになった。すなわち、一層の固化の後にエレベータを引き上げると、石英の窓部との接着力のためにマイクロマシンの可とう部が破壊や変形を起こすためである。この問題の解決のために、空気流による液位制御を用いた自由液面方式の可能性を検討し、可能性が十分高いことが明らかになった。マイクロマシンの製作においては液面の平滑度は山と谷の差は10μm以下であることが要求されるが、固化させる微小領域にレーザー光とノズルからの空気流が垂直に当たるような機構を考案して、空気流量、ノズル先端と液面の距離をパラメータとして実験を行った結果、平滑度は約10μmになることが確認できた。また、この方式は、離散的に1層ずつ造形することによる段差の平滑化にも有効であることが分かった。
2.可視光のよる高分解能光造形の検討
昨年までの研究により、樹脂の光吸収率を高めることが高分解能化に寄与することが明らかにされたが、樹脂の光吸収率を高めるためには添加剤を樹脂に加えるのが有効であり、そしてこの効果を上げるには光源を可視光にするのがよいことが分かった。そこで、可視光のレーザーであるアルゴンレーザーを用いた造形システムを試作し、可視光用の樹脂を用いて、種々のパラメータの最適化、すなわち、条件出しを行って造形実験を行ったところ、紫外線レーザー使用時の光の層間の漏れが著しく減少し、分解能の向上に有上であることが実証できた。
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Research Products
(3 results)
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[Publications] NAOMASA NKANJIMA et al: "Photoforming Applied to Fine Forming" JSME International Journal, Series C. 38. 811-817 (1995)
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[Publications] 中島尚正: "設計からみた微細加工技術" BME(日本ME学会雑誌). 9. 72-76 (1995)
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[Publications] 中島尚正、他: "光造形法を応用したセラミック微小構造体の製法(第一報)" 精密工学会誌. 61. 419-424 (1995)
