1993 Fiscal Year Annual Research Report
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05555040
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
下河辺 明 東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
赤羽 正大 東京精密, 技術研究所, 副所長
森山 茂夫 日立製作所, 中央研究所, 主任技師
佐藤 海二 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (00215766)
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| Keywords | 非接触センサ / レーザダイオード / 光ファイバカプラ / セルフォックレンズ / 周波数変調 / ヘテロダイン干渉計 / 光アイソレータ / 応答速度 |
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| Research Abstract |
1.変調周波数の増大による応答速度の向上 1kHzでは応答速度が0.083mm/sであったのに対し、50kHzでは周波数に比例して応答速度が向上する(4.09mm/s,1kHz時の50倍)ことを確認した.
2.高次調波の利用による応答速度の向上 変調周波数1kHzの2次調波成分を用いて応答速度を測定した結果,応答速度を2倍(0.17mm/s)に向上できることを確認した.
3.材質,加工法,表面粗さの異なる測定面の分解能,測定範囲 加工法の異なる鋼鉄やアクリル等10種類の測定面を用いて測定した結果,分解能はほぼ同一で,測定範囲は,いずれも26mm以上あることを確認した.
4.傾きの影響 20°までの傾きがあっても,測定範囲は30mm以上であることを確認した.
5.光アイソレータの挿入による性能向上 レーザダイオードの共振端面の反射率が低いため,戻り光の影響を受け,応答速度の低下,測定範囲の縮小が起る.そこで光アイソレータにより戻り光の影響を除去した結果,応答速度は1.14倍,測定範囲は26mmから46mmに向上できた.また鏡面も測定可能であることを確認した.
6.三角波変調方式による性能向上 電気回路の遅れのため,完全なのこぎり波変調ができず,変調周波数を100kHzに増大しても応答速度がさほど向上しない(6.60mm/s)という問題が生じた.しかし,のこぎり波より高周波成分の少ない三角波に変調することで解決した(12mm/s).
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Research Products
(1 results)
