1995 Fiscal Year Annual Research Report
新技術・レーザ励起フェライトメッキによるマイクロ波・ミリ波集積素子の試作
| Project/Area Number |
05555086
|
|---|
| Research Institution | TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
|---|
Principal Investigator |
阿部 正紀 東京工業大学, 工学部, 教授 (70016624)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
乾 哲司 日本電気(株), 資源環境技術研究所, 主管研究員
川又 肇 松下電子部品(株), 電子部品研究所, 室長
伊藤 友幸 セイコーエプソン(株), アクティブデバイス研究室, 主任 (40203153)
五味 学 北陸先端科学技術大学院大学, 材料科学研究科, 助教授 (80126276)
玉浦 裕 東京工業大学, 炭素循環素材研究センター, 教授 (00108185)
|
|---|
| Keywords | フェライトメッキ / マイクロ波 / ミリ波 / 誘電損失 / NiZnフェライト |
|---|
| Research Abstract |
1、マイクロ波損失の低減法の確立
購入したスピンスプレーフェライトメッキ装置を用いてNiZnフェライト膜を作製した。膜は9GHz帯域で狭い強磁性共鳴幅H=50〜200 Oeとバルク試料なみの飽和磁化Msを持っていた。しかし誘電損失がtanδ=〜0.1と非常に低かったので300℃で膜を熱処理したところtanδは減少したが、Msが減少し、また抗磁力Hcも増大してしまった。そこで、室温で膜を3〜16時間ほど真空処理(0.01ton)したところ、MsとHcをそこなうことなく、tanδを測定限界の0.002程度まで減少させることに成功した。真空処理により、メッキ中に膜中にとりこまれたOH基が脱離されたためと考えられる。
2、キレート化フェライトメッキによるMnZnフェライト膜の作製
スピンスプレー法で作製したMnZnフェライトMn_xZn_yFe_<3-x-y>O_4では、Mnの固溶限界がx<〜0.7であった。これはスピンスプレー法では、中性(pH=6.8〜7.2)領域の反応液を用いるためであると考えられる。そこでpHを高め、かつ高pH領域でのFeイオンの沈澱を防ぐためキレート化剤を用いて錆体を構成することによってx+y=0.1のMnZnフェライト膜を作製することに成功した。
3、Baフェライト、YIG膜の作製
キレート化剤を用い、Feイオンの沈澱をおさえて、高いpH(=11〜13)領域で、BaFe_<12>O_<19>およびY_3Fe_5O_<12>膜の作製を試みた。メッキしたままではアモルファスであったが、熱処理することによりバルクの試料なみの結晶性と磁性を有する膜を得ることができた。
|
-
[Publications] 阿部正紀: "キレート化フェライトメッキ法によるMnZnフェライトの作製" 日本応用磁気学会誌. 20(予定). (1996)
-
[Publications] Masanori ABE: "Ferrite Plating of Ba-Containing Iron Oxide Films Using Chelated Highly Alkaline(pH=11-13)Aqueous Solutions," Jpn. J. Appl. Phys.34. 1534-1536 (1995)
-
[Publications] Masanori ABE: "Ferrite Films Containing Mn, Ni and Ba Synthesized from Chelated Aqueous Solution at High pH(=11-13)" Journal of The Magnetics Society of Japan. 18. 307-310 (1994)
-
[Publications] M. Abe: "Wet-process preparation of amorphous Y-Fe oxide films ferromagnetic at room temperature" J. Appl. Phys.75. 6094-6096 (1994)
-
[Publications] M. Abe: "FERRITE PLATING OF Fe_3O_4 FILMS USING ALTERNATE ELECTRIC CURRENT" IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS. 30. 4900-4902 (1994)
-
[Publications] M.Abe: "LOW TEMPERATURE(<100℃)FERRITE FILM SYNTHESIS FROM AQUEOUS SOLUTION BY FERRITE PLATING." Trans. Mat. Res. Soc. Jpn.15B. 1117-1122 (1994)
