1993 Fiscal Year Annual Research Report
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05650260
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| Research Institution | Kyushu Institute of Technology |
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Principal Investigator |
生田 幸士 九州工業大学, 情報工学部・機械システム工学科, 助教授 (90212745)
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| Keywords | 光造形法 / 微細加工技術 / 3次元微細加工 / 紫外線硬化樹脂 / マイクロマシン / マイクロ流体回路 |
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| Research Abstract |
紫外線やUVレーザを用いて、1mm以下のサイズのマイクロ構造を、精密かつ立体的に作製する新手法を提案し、実験により実証した。
さらに本年度は作製条件と精度の関係を定量化、明確化する目的で紫外線と光硬化ポリマーの硬化特性の測定、数学モデルの提案、シミュレーションと実験比較等基礎的課題を順次解明した。本結果を用いて従来より1ケタ高精度なマイクロパイプ(psi20mum)の作製も可能となった。
次に本手法を用いた「集積化マイクロ流体回路」の試作にとりくみ、液体クロマトグラフィーのマイクロ化の基礎を実証した。これにより従来のシリコンマイクロ加工よりも自由度が高く立体的なマイクロ化学装置が実現できることを実証した。
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Research Products
(3 results)
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[Publications] K.Ikuta,K.Hirowatali,T.Ogata: "Three Dimensional Micro Integrated Fluid Systems Fabricated by Stereo Lithography" Prosoff IEEE International Workshop on Microelectro Mechanical Systems. 1-7 (1994)
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[Publications] 生田 幸士,広渡 憲: "3次元マイクロファブリケーションの研究(第3報:集積化流体システム(IF)の提案と試作)" 第12回ロボット学会学術講演会予刷集. 12. 553-556 (1993)
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[Publications] 生田 幸士 他 3人: "3次元マイクロファブリケーションの研究(第2報:UV樹脂のマイクロ硬化過程の解析)" 第12回ロボット学会学術講演会予刷集. 12. 549-552 (1993)
