吸着有機金属分子の紫外レーザー光分解による超薄膜の作成

1993 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 05650669
• Research Institution: Nagaoka University of Technology
• Principal Investigator: 伊藤 義郎 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (60176378)
• Keywords: 有機金属化合物 / レーザー / 光分解 / 薄膜

Research Abstract

今年度の研究においては、真空中での吸着有機金属分子の紫外光分解による金属薄膜の作成実験の装置の準備と、そのテストを兼ねた予備的実験、およびこれと並行して大気中での、有機金属薄層の紫外光分解プロセスによる金属薄膜の作成実験を実施した。
1. 真空中での吸着有機金属分子の紫外光分解による金属薄膜の作成実験
(1)レーザー照射用真空槽の組上げ、および試験を行なった。基板冷却用のコールドフィンガーを製作しその性能評価を行った。初めのうち、槽内の真空度がなかなか上がらなかったが、これはコールドフィンガーの一部にわずかながらリークがあったためであることが判明し、リーク部分の再加工を行った。
(2)Cu(DPM)2を試料に用いて、ガラス基板上に銅薄膜の生成を試みた。光吸収スペクトルの測定からは、薄膜の生成が確認できたが、X線回折測定では、膜が薄すぎるため構造の決定にまで至っていない。今後はSEM観察、および、より長時間の照射によって膜厚を増加させて構造解析を行う。
2. 大気中での、有機金属薄層の紫外光分解プロセスによる金属薄膜の作成実験
(1)有機金属化合物を溶媒にとかしガラス基板に塗付、薄層状にし、これにレーザー光を照射した。銅の化合物を原料とした場合には、金属銅あるいは酸化銅の薄膜が生成した。またクロム化合物を原料に用いた場合には酸化クロムの薄膜が得られた。
(2)原料化合物の違い、溶媒、照射条件の違いによって生成する膜のモルフォロジーが変化したが、その理由についてはまだ明らかではなく、現在検討中である。