フロン分解システムのための耐食性コーティング材の開発とその評価

1993 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 05650678
• Research Institution: Kyushu University
• Principal Investigator: 増田 正孝 九州大学, 工学部, 助教授 (40165725)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 〓 衛民 九州大学, 工学部, 助手 (80253508)
• Keywords: 耐食性コーティング / 酸化物多層膜 / 液晶法 / 密着性指数

Research Abstract

生産性に優れた成膜方法としてRFマグネトロンスパッタ法を用い、高耐食性酸化皮膜をステンレス鋼に保護皮膜として施すことを検討した。成膜された皮膜の機械的特性として、密着性を評価し、耐食性評価として電気化学特性を計測した。密着性の評価法として新しく、微小硬度測定による方法を構築し、従来、絶対的評価が困難であった密着性を密着指数で評価する方法を提案した。成膜された保護皮膜のピンホール欠陥は、液晶法で評価した。本法によれば、皮膜の欠陥を非破壊で、その分布までも検出することができ、画期的な欠陥評価法であるといえる。本法は酸化皮膜のピンホール欠陥のみならず、他の薄膜の微小貫通欠陥を検出する方法としての利用価値が高いことを示した。流動法により酸化皮膜の表面電荷を計測し、耐食性と表面電荷の関連を調べ、酸化皮膜の表面電荷零pH(pH_<pzc>)が耐食性に影響を与えることを検証した。pH_<pzc>の異なる皮膜を多層に積層することにより、耐食性をそれぞれの酸化物の単層膜よりも向上させることが可能であることを示した。この技術により、成膜過程で不可避なピンホール欠陥の影響をより低減する効果も期待できることを示した。