1994 Fiscal Year Annual Research Report
マイクロ波大気圧ヘリウムフラズマの生成とその極微量元素質分析への応用
Project/Area Number |
05650817
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Research Institution | Toyo University |
Principal Investigator |
岡本 幸雄 東洋大学, 工学部, 教授 (90233387)
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Keywords | マイクロ波誘導大気圧プラズマ / 大気圧ヘリウムプラズマ / 極微量元素分析 / 質量分析 |
Research Abstract |
平成5年度に本研究者が開発したOkamoto cavityを用いて成功したマイクロ波誘導大気圧ヘリウムプラズマ(He-MIP)に、溶液試料を霧化して導入するとき、従来の同軸型のニュマティックネブライザーを用いると、効率が低く、さらにプラズマが不安定になることを明らかにした。 この対策として、新たに超音波を用いたネブライザーを自作し、この問題を解決した。これらのことから、He-MIPに溶液試料が導入できるようになり、マイクロ波電力1kWのとき、励起温度は5,500K(Feの原子線の発光強度のボルツマンプロットから算定)、電子密度は10^<14>/cm^3(Sahaの式をベースにFeの原子線とイオン線の発光強度比から算定)が得られた。これらの値は従来のアルゴンガスを用いた高周波誘導結合プラズマ(Ar-ICP)や窒素ガスを用いたマイクロ波誘導プラズマ(N_2-MIP)と比べ、同等以上であることが明らかになった。 しかしながら、ヘリウムガスの消費量が多く(25 l/min)、ライニングコストの低減のために、流量を減らす必要がある。この対策の一つとして、Okamoto cavityを調整して、ガスを適宜He⇔N_2切り換えられるようにした。 そして現在、流量の絶対量を低減することと、質量分析装置(MS)のHe-MIP-MSとしての調整を行っている。今後、He-MIP-MSの評価を行う予定である。
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Research Products
(2 results)
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[Publications] Yukio Okamoto: "High-sensitivity Microwave-induced Plasma Mass Spectrometry for Trace Element Analysis" J.Anal.At.Spectrom.9. 745-749 (1994)
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[Publications] Yukio Okamoto: "Helium Microwave-induced Plasma at Atmospheric Pressure for Trace Element Analysis" J.Anal.At.Spectrom.(予定). (1995)