1994 Fiscal Year Annual Research Report
レーザーアブレーションによるラジカルビーム生成と表面素過程のレーザー分光計測
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06228223
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
前田 三男 九州大学, 工学部, 教授 (80037910)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
興 雄司 九州大学, 工学部, 助手 (10243908)
岡田 龍雄 九州大学, 工学部, 助教授 (90127994)
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| Keywords | レーザーアブレーション / エキシマーレーザー / レーザー分光法 / 色素レーザー / 高温超伝導膜 |
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| Research Abstract |
本研究はエキシマーレーザーで固体ターゲット表面をアブレートした際に発生する原子分子ラジカルをビーム源として利用すること、それにLIF-TOF(飛行時間レーザー誘起蛍光)レーザー分光法を適用して表面素過程の観測を行なうことを目的として、平成5年から継続して研究を行なっている。本年度得られた主な研究成果は以下の通りである。
1.パルス色素レーザーシートビームと高感度CCDカメラを組合わせた、二次元LIF-TOF分光計測システムを試作した。これによって特定ラジカルの空間分布がコマ撮りで観測できるようになった。
2.上のシステムを用いて、YBCOの高温超伝導膜のパルスレーザーデポジッション(PLD)における酸素ガスとの反応過程や基板への衝突過程の観測を行なった。
3.アルミナセラミックスをアブレイトした際に発生するアルミニウム原子をスリットから取出しビーム化させ、そのふるまいを上述の二次元LIF-TOF装置でイメージングした。
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[Publications] W.K.A.Kumuduni 他: "Spatial Distribution of YO Molecules Ejected from Laser-Ablated YBa_2Cu_3O_<7-x>" Applied Physics B. 58. 289-294 (1994)
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[Publications] 岡田龍雄 他: "Laser Spectroscopic Diagnostics of Pulsed-Laser Deposition Process" レーザー研究. 22. 160-171 (1994)
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[Publications] Y.Nakata 他: "Plume-substrates interaction in pulsed-laser deposition of high-temperature superconducting thin films" Applied Physics Letters. 64. 2599-2601 (1994)
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[Publications] Y.Nakata 他: "Radical Beams Produced by Laser Ablation and Their Application" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4316-4319 (1994)
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[Publications] T.Okada 他: "Laser spectroscopic investigation of particle behavior in a laser ablation process" Applied Surface Science. 79/80. 136-140 (1994)
