1994 Fiscal Year Annual Research Report

非弾性効果を考慮した電子・イオンスオーム過程とその応用

Research Project

Project/Area Number	06302033
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	武部雅汎東北大学, 工学部, 教授 (30005392)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	嶋森洋福井工業大学, 工学部, 教授 (80139815) 橘邦英京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (40027925) 真壁利明慶応大学, 理工学部, 教授 (60095651) 籏野嘉彦東京工業大学, 理学部, 教授 (90016121) 土手敏彦福井工業大学, 工学部, 教授 (20087422)
Keywords	荷電粒子輸送方程式 / Boltzmann方程式 / 非弾性効果 / 衝突脱励起 / イオン・電子再結合 / 超励起状態 / 電子付着 / 電荷移行断面積
Research Abstract	電子輸送の理論的解析では非弾性効果を考慮した輸送方程式とBoltzmann方程式との関係が希ガス中の電子について明らかにすることができた。また計算手法に於て均質,非均質RF電場中での電子輸送に関する数値解法の問題点をモンテカルロ法との比較によって解かれ,多様な放電処理中の電子の挙動を明らかにした。電子輸送の非弾性効果のひとつである電子付着がスオーム現象の解明に重要であることが実験的に明らかになった。今後はこの過程を理論,数値計算にとり入れ,電子輸送の定量的な把握を試みる。中性原子,イオン過程の研究では,従来計測が困難であった励起原子と中性原子との非弾性衝突に関して実験手法を確立するとともに、その反応過程反応断面積の測定を行った。また高密度状態でのイオン・電子再結合の過程を明らかにし,非弾性過程の重要な部分を計算シミュレーションを行う準備が整った。またこの過程の中で超励起状態の果す役割も明らかとなった。放射線計測,同位体分離等の応用面で,輸送発展特性を高速に行う計算手法が開発されたことで今後期待ができる。また非等方散乱をとり入れたFTI計算も多様な偵件での検記がすすめられ,応用面での利用も考えられる。

Research Products

(9 results)

All Other

All Publications (9 results)

[Publications] T.Dote: "Availability of constant ratio opprotimation thesry of tramsition from free to ambi polar diffusion" J.Phys.Soc.Jpn. 63. 299-3002 (1994)
[Publications] T.Suzuki: "Contact ionizotion ion source for cyclotron rosonence separation" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4247-4250 (1994)
[Publications] K.Isoda: "The effect of an external eloctric field on diffusion-entrolhd bulk ion-recombination" J.Chem.Phys.100. 5874-5881 (1994)
[Publications] N.Ikuta: "Volidity of pseudo-isotropic analysis of elatron trausport using momentum tranpter aross sections" J.Phys.Soc.Jpn. 63. 536-545 (1994)
[Publications] K.Kondo: "Relotation process of the velocity distribution and trausport tsefficients of electron swarms in krypton" Journal of Physics D:Applied Physics. 27. 1894-1905 (1994)
[Publications] H.Shimamori: "Low-energy electron attachment to C_6F_5X(X=F.Cl,Br and I)" Chem.Phys.Lett.227. 609-616 (1994)
[Publications] K.Tachibana: "Diffusion and quenching of metastable Xeatoms in mixtures of Xe and rare gases" Jpn.J.Appl.Phys.33. 6716-6717 (1994)
[Publications] H.Sugawara: "Properties of electron swarms in goses in the upstream rezion of an electron source" J.Phys.D:Appl.Phys.28. 61-67 (1995)
[Publications] K.Iinuma: "Analysis of Iwo ion surarms in dynamic ezailibrium:Simultaneous determinetion of two drift veloeities and tworeaction fregueucies" J.Chem.Phys.101. 2949-2952 (1994)

1994 Fiscal Year Annual Research Report

非弾性効果を考慮した電子・イオンスオーム過程とその応用

Principal Investigator

武部 雅汎 東北大学, 工学部, 教授 (30005392)

Research Products

[Publications] T.Dote: "Availability of constant ratio opprotimation thesry of tramsition from free to ambi polar diffusion" J.Phys.Soc.Jpn. 63. 299-3002 (1994)

[Publications] T.Suzuki: "Contact ionizotion ion source for cyclotron rosonence separation" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4247-4250 (1994)

[Publications] K.Isoda: "The effect of an external eloctric field on diffusion-entrolhd bulk ion-recombination" J.Chem.Phys.100. 5874-5881 (1994)

[Publications] N.Ikuta: "Volidity of pseudo-isotropic analysis of elatron trausport using momentum tranpter aross sections" J.Phys.Soc.Jpn. 63. 536-545 (1994)

[Publications] K.Kondo: "Relotation process of the velocity distribution and trausport tsefficients of electron swarms in krypton" Journal of Physics D:Applied Physics. 27. 1894-1905 (1994)

[Publications] H.Shimamori: "Low-energy electron attachment to C_6F_5X(X=F.Cl,Br and I)" Chem.Phys.Lett.227. 609-616 (1994)

[Publications] K.Tachibana: "Diffusion and quenching of metastable Xeatoms in mixtures of Xe and rare gases" Jpn.J.Appl.Phys.33. 6716-6717 (1994)

[Publications] H.Sugawara: "Properties of electron swarms in goses in the upstream rezion of an electron source" J.Phys.D:Appl.Phys.28. 61-67 (1995)

[Publications] K.Iinuma: "Analysis of Iwo ion surarms in dynamic ezailibrium:Simultaneous determinetion of two drift veloeities and tworeaction fregueucies" J.Chem.Phys.101. 2949-2952 (1994)

武部雅汎東北大学, 工学部, 教授 (30005392)