1996 Fiscal Year Annual Research Report
走査型マイクロ蒸発源による密度変調・歪整合型SiGeC格子の研究
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06402024
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
高柳 邦夫 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (80016162)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
大島 義文 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助手 (80272699)
平山 博之 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 助教授 (60271582)
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| Keywords | 密度変調超格子 / 不整合超格子 / STM |
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| Research Abstract |
電子顕微鏡の中で,STM駆動つきの蒸発源と基板を対抗して配置した特殊ホルダーを用いて,試料と蒸発源の間に電界をかけて,蒸発源から微粒子を基板表面に付着させる方法を検討した.
その結果,試料と蒸発源の間に電界をかけて蒸発源を試料に接近させた場合には,蒸発源からドロップレットが飛び出して試料表面に付着することを見出した.しかし,ドロップレットを制御して試料表面に付着させる電場など,詳細は明らかに出来ていない.
ドロップレットの大きさや付着に必要な電場の制御が今後の課題として残った.一方,試料表面については,ステップの少ない平坦で清浄な表面を作ることを目的として,反射電子顕微鏡法でシリコン結晶の基板結晶の評価を行ったが,上記の特殊ホルダーでは,試料の加熱温度が十分得られなかったため,現在までのところ成功には至っていない.
以上,STMの探針を利用した原子間電界蒸発法によって,清浄なシリコン基板表面にドロップレットの配列をつくり,この方法を発展させて歪み超格子を形成する方法が、原理的には可能であることを示せた.
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[Publications] 内藤賀公,高柳邦夫,富取正彦: "Visualization of Tip-surface geometry at atomic distance by TEM-STM holder" Surface Science. 357-358. 208-212 (1996)
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[Publications] 溜正則,高柳邦夫: "Optimum Condifion of conrergent beam illumination for observation of local structure by high-resolution TEM" Ultramicroscopy. 62. 123-131 (1996)
