1995 Fiscal Year Annual Research Report
低温加工雰囲気におけるダイヤモンド切削・研削加工に関する研究
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06402031
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| Research Institution | TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
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Principal Investigator |
伊東 誼 東京工業大学, 工学部, 教授 (60016441)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
橋詰 等 東京工業大学, 工学部, 助手 (50218400)
稲場 千佳郎 東京工業大学, 工学部, 助手 (10223231)
割澤 伸一 東京工業大学, 精密工学研究所, 助手 (20262321)
新野 秀憲 東京工業大学, 工学部, 助教授 (40196639)
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| Keywords | 超精密加工 / ダイヤモンド切削 / 研削加工 / 加工環境 / 雰囲気制御 / 難削材加工 / 工作機械 / 加工計測 |
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| Research Abstract |
本年度が最終年度であることから,所期の研究目的を達成するために研究代表者及び分担者の綿密な情報交換と共同作業の下で,平成6年度に引続いて次のような要素研究を遂行し,総合評価を行い,提案する低温雰囲気中における難削材料のダイヤモンド切削・研削の有効性を確認した.
(1)すでに開発済みの加工環境制御超精密加工機を,低温加工雰囲気中における超精密加工が可能となるように構造変更した.具体的には,難削材加工に対応するために新たに高剛性の超精密テーブルと高剛性超精密主軸を組込み,チタン合金の実加工と加工面評価により,それら構造の妥当性と有効性を確認した.
(2)低温加工環境下におけるチタン合金等の難削材の超精密ダイヤモンド加工により,平滑面生成の際の加工機構,工具・工作物の相互作用を非接触光学式3次元微細形状測定機,走査形電子顕微鏡,並びにイオン顕微鏡を用いて解明した.
(3)超高速・超精密加工を実現する主軸構造の開発に際して,主軸構造要素間の複雑な熱的・力学的な相互作用を考慮することが重要であることを,実際の主軸回転中の主軸受周辺構造体の状態認識の結果を基に明らかにした.本研究成果の一部は,日本機械学会論文集に公表した.
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