1996 Fiscal Year Annual Research Report

有機金属を用いた光触媒反応により層状超薄膜構造の形成

Research Project

Project/Area Number	06452210
Research Institution	Tohoku University
Principal Investigator	庭野道夫東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20134075)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	遠田義晴東北大学, 電気通信研究所, 助手 (20232986)
Keywords	光触媒反応 / 有機金属 / 超薄膜 / 紫外光 / 放射光 / 層状構造 / 光分解反応
Research Abstract	本研究は、固体表面の光触媒機能を利用して、金属および金属酸化膜の超薄膜構造を形成することを目的とした。励起光としては,紫外から真空紫外からまでの光を用いた。本年度は、前年度に引き続き,半導体、絶縁体、金属表面上の有機金属光触媒反応実験のための複合表面解析装置を用いて、主に、広バンドギャップ半導体SiCの原料となるテトラメチルシラン(TMS)およびそれの水素置換化合物の真空紫外光による光分解反応過程と、GaAs半導体基板上の金属薄膜、絶縁薄膜の堆積過程を調べた。その結果、TMS光分解反応過程については、TMSのメチル基の光分解・重合によってアモルファスSiCができる実験結果を再確認するとともに、赤外吸収その場解析装置を用いてTMSのC-H結合の分解過程を明らかにした。TMSの中のC-H結合は真空紫外光によって直接分解する過程と、光照射によって生成された活性種がTMSと反応することによっておこる二次的過程があることが解った。 GaAs半導体基板上の金属薄膜の堆積過程については、GaAs基板上に金、銀、アルミニウム、インジウムを堆積したときに起こる金属・半導体界面反応過程を放射光光電子分光法を用いて調べた結果の再解析を行った。金属の種類によって界面反応は大きく異なることを確かめた。また、絶縁薄膜形成においては、初期GaAs表面を酸処理するか硫黄処理するかによって膜質が大きく異なることが分かった。酸処理すると初期表面には薄い酸化膜が存在し、その酸化膜表面に絶縁薄膜を堆積するとアモルファスになるが、硫黄処理すると結晶性の良い薄膜ができることが分かった。この実験結果は絶縁薄膜構造を形成する上で重要である。

Research Products

(6 results)

All Other

All Publications (6 results)

[Publications] K. Kinashi et al.: "UV-Assisted Depopsition of TEOS SiO2 Film Using Spin-Coating Method" Appl. Surf. Sci.79/80. 332-337 (1994)
[Publications] M. Niwano et al.: "Infrared Spectroscopic Study of Initial Stages of Ultraviolet Ozone Oxidation of Si (100) and (111) Surfaces" Journal of Vacuum science & Technology. A12・2. 465-470 (1994)
[Publications] M. Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J. Electrochem. Soc.141・6. 1556-1561 (1994)
[Publications] M. Niwano et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of Tetraethoxysilane on Si" J. Appl. Phys.75/11. 7304-7309 (1994)
[Publications] K. Kinashi et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of a Condensed Layer of Silicon Alkoxide on Si" J. Vac. Sci. Technol.A13・4. 1879-1884 (1995)
[Publications] M. Niwano et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of Condensed Layer of Organosilicon Compounds" J. Electron Spectr. Related Phenomenon. 80. 89-92 (1996)

1996 Fiscal Year Annual Research Report

有機金属を用いた光触媒反応により層状超薄膜構造の形成

Principal Investigator

庭野 道夫 東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20134075)

Research Products

[Publications] K. Kinashi et al.: "UV-Assisted Depopsition of TEOS SiO2 Film Using Spin-Coating Method" Appl. Surf. Sci.79/80. 332-337 (1994)

[Publications] M. Niwano et al.: "Infrared Spectroscopic Study of Initial Stages of Ultraviolet Ozone Oxidation of Si (100) and (111) Surfaces" Journal of Vacuum science & Technology. A12・2. 465-470 (1994)

[Publications] M. Niwano et al.: "UV-Induced Deposition of SiO2 Film from TEOS Spin-Coated on Si" J. Electrochem. Soc.141・6. 1556-1561 (1994)

[Publications] M. Niwano et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of Tetraethoxysilane on Si" J. Appl. Phys.75/11. 7304-7309 (1994)

[Publications] K. Kinashi et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of a Condensed Layer of Silicon Alkoxide on Si" J. Vac. Sci. Technol.A13・4. 1879-1884 (1995)

[Publications] M. Niwano et al.: "Synchrotron Radiation Induced Reactions of Condensed Layer of Organosilicon Compounds" J. Electron Spectr. Related Phenomenon. 80. 89-92 (1996)

庭野道夫東北大学, 電気通信研究所, 助教授 (20134075)