1995 Fiscal Year Annual Research Report
| Project/Area Number |
06452419
|
|---|
| Research Institution | Nagoya University |
|---|
Principal Investigator |
菅井 秀郎 名古屋大学, 工学部, 教授 (40005517)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
佐々木 浩一 名古屋大学, 工学部, 助手 (50235248)
中村 圭二 名古屋大学, 工学部, 助手 (20227888)
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学部, 講師 (70207653)
|
|---|
| Keywords | 第一壁コンディショニング / ボロンコーティング / リチウムコーティング / 水素リサイクリング / 酸素ゲッタリング / 不純物制御 / デカボラン / ECRプラズマ |
|---|
| Research Abstract |
1.リチウムコーティングの研究
リチウム蒸着による壁のコンディショニングに関して多く新しいの知見が得られた。すなわち、リチウムは強い不純物ゲッター作用をもち、O_2,H_2O,CO,CH_4などを捕獲する。また、水素プラズマと反応してリチウム原子1個につき水素原子1個の割合で多量に水素を吸収できる。このように水素と反応したリチウムは200℃を越えても融解することなく、400-700℃において水素を脱離してリチウムは蒸発する。
2.ECRマイクロ波プラズマを用いるボロンコーティング
超伝導磁場を用いる次世代の核融合装置を念頭において、2.45GHzの電子サイクロトロン共鳴放電のヘリウムプラズマにデカボランを流してボロンコーティングを試みた。ボロンの膜圧分布を詳細に調べた結果、ガス導入口の近くには、中性ラジカルによると思われる厚い膜が不均一に堆積するが、イオン性ラジカルは磁力線に沿って遠くまで運ばれるので、広く膜をコーティングできる見通しが得られた。これは、磁化プラズマを用いることにより大型容器を広く遠方までボロンコーティングできることを示す重要な知見である。
|
-
[Publications] H.Toyoda他4名: "Simple Direct Monitoring of SiH3 Radical and Particulates in a Silane Plasma with Ultra-Violet Transmission Spectroscopy" Japanese Journal of Applied Physics. 34A. L448-451 (1995)
-
[Publications] K.Nakamura他2名: "Helicon Wave Measurements in an Inductively Coupled Magnetoplasma" Australian Journal of Physics. 48. 461-468 (1995)
-
[Publications] K.Nakamura他2名: "Hot Spots and Electron Heating Processes in a Helicon-Wave Excited Plasma" Japanese Journal of Applied Physics. 34. 2152-2157 (1995)
-
[Publications] H.Sugai他3名: "A Biased Optical Probe Method for Measurements of Electron Energy Distribution in a Plasma" Plasma Souces Sci.TRechnol.4. 366-372 (1995)
-
[Publications] H.Sugai他3名: "Diagnostics and Control of Radicals in an Inductively Coupled Etching Reactor" J.Vac.Sci.& Technol.A13. 887-893 (1995)
-
[Publications] Y.Mitsuoka他2名: "Observation of Ion Scattering from Metal Surfaces Bombarded with Low-Energy Hydrocarbon Ions" Japanese Journal of Applied Physics. 34B. L516-519 (1995)
-
[Publications] Y.Mitsuoka他2名: "Dissociative Ion Yields on Metal Surfaces Bombarded with Low-Energy Fluorocarbon Ions" Japanese Journal of Applied Physics. 34A. L1486-L1489 (1995)
