1994 Fiscal Year Annual Research Report
気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
| Project/Area Number |
06555023
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| Research Institution | Kyushu University |
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Principal Investigator |
白谷 正治 九州大学, 工学部, 助教授 (90206293)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
近藤 郁 リオン(株), 環測技術部, 主任
福澤 剛 九州大学, 工学部, 助手 (70243904)
川崎 仁晴 九州大学, 工学部, 助手 (10253494)
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| Keywords | レーザ偏光散乱法 / 微粒子 / ダスト / バ-ティクル / 屈折率 / その場測定 / プラズマプロセス / プラズマCVD |
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| Research Abstract |
本研究は,気相中微粒子の粒径・粒径分散・密度・屈折率の超高感度その場計測法を開発することが目的である.このために,これまでに独自に開発してきたレーザ偏光散乱計測法をさらに発展させて,粒径で10nm以上,密度で10^5 cm^<-3> 以上の微粒子の粒径・粒径分散・密度・屈折率を非擾乱で再現性良く計測する方法を開発した.本方法を圧力,シラン濃度,流量,放電電力がそれぞれ13〜80Pa,1〜100%,20〜30sccm,40〜80Wのシランプラズマ中に発生するシリコン微粒子の測定に適用し,以下の結果を得た.
1.微粒子の粒径は10〜200nmである.
2.微粒子の密度は10^7 〜10^9 cm^<-3> である.
3.微粒子の屈折率はm=3-5iでほぼ一定である.
4.微粒子の粒径分散はk=0〜0.1でほぼ一定である.
5.本研究で開発した方法で測定した微粒子の粒径・粒径分散,密度は,SEM観察によって求めた値と各々±6%,±46%以内で一致した.
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[Publications] 白谷 正治: "Study on growth Processes of particulates in helium-diluted silane RF Plasmas using scanning electron microscopy" Appl.Phys.Lett.65. 1900-1902 (1994)
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[Publications] 白谷 正治: "Formation Processes of Particulates in Helium-Diluted silane RF plasmas" IEEE Trams. Plasma Sci.22. 103-107 (1994)
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[Publications] 川崎 仁晴: "レーザ散乱光の偏光特性を利用した微粒子のサイズ・サイズ分散・密度・屈折率のその場同時測定法の開発" 電気関係学会九州支部連合大会論文集. 47. 122-122 (1994)
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[Publications] 岩垣 暢浩: "プロセスプラズマ中微粒子のサイズと密度の2次元空間分布その場同時測定の開発" 電気関係学会九州支部連合大会論文集. 47. 123-123 (1994)
