1994 Fiscal Year Annual Research Report

超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工・測定システムの開発

Research Project

Project/Area Number	06555035
Research Institution	Shizuoka University
Principal Investigator	青山尚之静岡大学, 工学部, 助教授 (40159306)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	菅沼亮介本多電子(株), 産業機器事業部, 課長原勉 (株)浜松ホトニクス, 中央研究所, 主任研究員村上健司静岡大学, 電子工学研究所, 講師 (30182091) 下河辺明東京工業大学, 精密工学研究所, 教授 (40016796) 佐々木彰静岡大学, 工学部, 教授 (80022309)
Keywords	超小型自走機械 / 超高真空 / 表面微細構造 / 加工 / 測定 / 電子デバイス
Research Abstract	(1)走査型プローブ顕微鏡の超小型化と微細加工(佐々木・原): トンネル電流型、原子間力型、近接場光型などの微細プローブを化学的加工方法により小型化を行うともにプローブ特性を調べた。さらにパルス状電圧を印加する方法、直接的な接触による機械加工あるいは介在物による表面微細加工などを試み、種々のプローブを微小加工工具として機能させることに成功した。 (2)超高真空用超小型自走機械の設計(青山・佐々木): これまでに経験している超小型精密自走機械が大気圧中での動作を前提に設計製作されていたため、これを超高真空中での動作するように電機要素、機械要素、結合材、給電方法などを再検討した。 (3)真空中における半導体デバイス表面の微細挙動の解明(村上): 超高真空容器中における各種金属材料の表面における基本的挙動を原子・分子レベルで明らかにするとともに特に試料とプローブ/工具の準接触状態での相互干渉を実験的に明らかにした。次年度のへの課題: ・細プローブ先端に与える電流により試料表面に微細な機械的痕跡を与えることが明らかになった。しかし表面の性状も変化していることが確認され、どのような化学素性に変化したかは不明であり、精密な分析を行う必要がある。・高真空中(10^<-5>Torr)で微細動作可能な超小型自走機械を設計した。しかしさらに真空度を上げた環境中(超高真空)で動作可能な機構を設計するとともに、得られた試作サンプル(原子・分子団)を実験的に解析する必要がある。

Research Products
(7 results)

All Other

All Publications (7 results)

[Publications] Hisayuki Aoyama: "Collaborative Precise Operation by Two Miniature Robots" Proc.of 9th A.S.P.E Annual Meeting. 1. 238-239 (1994)
[Publications] Hisayuki Aoyama: "Precise Tilting Control of Rotating Table" Jpn.Soc.of Prec.Engg.Pub.Sers.1. 192-196 (1994)
[Publications] Akira Sasaki: "Scanning shearing-stress microscope" Applied Physics Letters. 64. 124-125 (1994)
[Publications] Akira Sasaki: "Phase-Conjugate Imaging Properties in High Efficency KNSBN" Optical Review. 1. 230-232 (1995)
[Publications] Kenji Murakami: "Microstructure and Compositional Anaysis on Pb(2n,Ti)O_3Ceramics" Ceramics Trans.opAme.Cera.Soc.41. 161-168 (1994)
[Publications] Kenji Murakami: "Behavior opMorphotropic Phase Boundary in Low Temp.Sintered BiFeO_3" Jpn.J.Appl.Phys.33. 5529-5532 (1994)
[Publications] 下河辺明(分担): "精密制御用ニューアクチュエータ便覧" フジ・テクノシステム, 1087 (1994)

1994 Fiscal Year Annual Research Report

超小型自走機械群を用いた超高真空用表面微細構造の加工・測定システムの開発

Principal Investigator

青山 尚之 静岡大学, 工学部, 助教授 (40159306)

Research Products

[Publications] Hisayuki Aoyama: "Collaborative Precise Operation by Two Miniature Robots" Proc.of 9th A.S.P.E Annual Meeting. 1. 238-239 (1994)

[Publications] Hisayuki Aoyama: "Precise Tilting Control of Rotating Table" Jpn.Soc.of Prec.Engg.Pub.Sers.1. 192-196 (1994)

[Publications] Akira Sasaki: "Scanning shearing-stress microscope" Applied Physics Letters. 64. 124-125 (1994)

[Publications] Akira Sasaki: "Phase-Conjugate Imaging Properties in High Efficency KNSBN" Optical Review. 1. 230-232 (1995)

[Publications] Kenji Murakami: "Microstructure and Compositional Anaysis on Pb(2n,Ti)O_3Ceramics" Ceramics Trans.opAme.Cera.Soc.41. 161-168 (1994)

[Publications] Kenji Murakami: "Behavior opMorphotropic Phase Boundary in Low Temp.Sintered BiFeO_3" Jpn.J.Appl.Phys.33. 5529-5532 (1994)

[Publications] 下河辺明(分担): "精密制御用ニューアクチュエータ便覧" フジ・テクノシステム, 1087 (1994)

青山尚之静岡大学, 工学部, 助教授 (40159306)