大気圧プラズマを利用したEEM用粉末粒子作製装置の開発

1994 Fiscal Year Annual Research Report

• Project/Area Number: 06555038
• Research Institution: Osaka University
• Principal Investigator: 森 勇藏 大阪大学, 工学部, 教授 (00029125)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): 佐野 泰久 大阪大学, 工学部, 助手 (40252598) ; 山村 和也 大阪大学, 工学部, 助手 (60240074) ; 山内 和人 大阪大学, 工学部, 助教授 (10174575)
• Keywords: EEM / 微細粉末 / プラズマCVD / 大気圧プラズマ

Research Abstract

近年、先端技術分野における表面精度に対する要求はもはやその極限である原子オーダーにまで達しており、このようなハイレベルの要求に応えられる超精密加工法として、我々はEEM(Elastic Emission Machining)を開発して来た。
EEMを種々の材料に適応する場合、それぞれの材料に適した粉末粒子を選択しなければならないが、現状では入手可能な粉末は、その種類が限られており、EEMの研究を進めるためには、任意の組成及び粒径に制御された微細粉末粒子の作製装置の開発が不可欠となる。
本研究では、大気圧においてプラズマを発生させ、原料ガスを分解し、微細粉末粒子を生成することを目的としているが、その様な高圧力下で安定したプラズマを維持できる装置は現存しない。そこで今年度は、大気圧下においても均一で安定したプラズマを発生させる電極構造を設計、製作し、原料ガス濃度と生成微粒子径の関係、ガス供給量及び投入エネルギーをパラメーターとした微粒子生成効率といった、基礎データーを収集した。
また、一定量の不活性ガスを用いて、長時間連続的に粉末生成が行えるように、不活性ガスの精製循環システムを設計、製作し、基本性能のテストを行なった。