1996 Fiscal Year Annual Research Report
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06555072
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| Research Institution | Yamaguchi University |
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Principal Investigator |
栗林 勝利 山口大学, 工学部, 教授 (30081251)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
村尾 良男 太陽鉄工(株), 特機事業部, 部長
吉竹 正明 大阪府立産業技術総合研究所, 主任研究員
小川 倉一 大阪府立産業技術総合研究所, 材料技術部, 部長
清水 聖治 山口大学, 工学部, 助手 (00243626)
谷口 隆雄 山口大学, 工学部, 助教授 (20093966)
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| Keywords | マイクロバルブ / バルブモデル / TiNi形状記憶合金 / FEM / シリコン基板 / RIE / 感光性ガラス |
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| Research Abstract |
低電圧の通電加熱により簡単に駆動・制御できる形状記憶合金TiNiは,サイズの割に発生力が大きい,変位が大きいマイクロ化及び薄膜化する事により放熱効率が良くなるので応答速度が向上する.以上の数々の特徴からTiNi形状記憶合金薄膜をアクチュエータとして用いた2種類のマイクロバルブの設計・試作を行った.
1つは,半導体集積回路加工技術を応用する事により微細加工が比較的容易であるシリコン基板を用いた.TiNi合金をシリコン基板の上に成膜し,RIEによりシリコンをエッチングする事によりバルブアクチュエータとなるTiNi合金のダイアフラム構造を作ることが出来た.
2つ目は,最近開発された感光性ガラスを用いた.感光性ガラスは容易に立体的な構造を作ることが出来る.積層及び融着によりTiNi合金のダイアフラムをもったマイクロバルブを試作できた.このバルブのダイアフラムの変位,圧力及び温度の三者の特性を測定し,バルブ設計の指針を得た.
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[Publications] 清水聖治: "マイクロマシン" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'96講演論文集. 1567-1568 (1996)
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[Publications] 栗林勝利: "形状記憶合金薄膜を用いたバルブの試作研究" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'96講演論文集. Vol.B. 1227-1228 (1996)
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[Publications] 栗林勝利: "SF_6を用いた低温RIEにおけるシリコン加工特性の研究" 日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'96講演論文集. Vol.B. 1465-1468 (1996)
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[Publications] Katsutoshi Kuribayashi: "Reversible Shape Memory Behaviors of TiNi Thin Films Processed by Direct Electric Current Heating" Proc.of the Seventh International Symposium on Micro Machine and Human Science. 131-136 (1996)
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[Publications] Katsutoshi Kuribayashi: "Micromechatronics" 1996 IEEE Conference on Emerging Technologies and Factory Automation. 745-751 (1996)
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[Publications] 栗林勝利: "マイクロメカトロニクスの現状について" 第10回アドバンティ・シンポジウム. 89-95 (1997)
