1995 Fiscal Year Annual Research Report
オゾン処理によるアルミニウム合金材料表面の高機能化
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06555216
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| Research Institution | Miyagi National College of Technology |
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Principal Investigator |
百瀬 丘 宮城工業高等専門学校, 電気工学科, 教授 (90006271)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
蓼沼 克嘉 KK化研水戸研究所, 高度技術開発部, 代表
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| Keywords | オゾン処理 / 超高真空材料 / アルミニウム合金 / ステンレススティール / チタン / 表面汚染除去 / 熱的ガス放出 / 動的ガス放出 |
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| Research Abstract |
オゾン処理をしてa.アルミチェンバーのガス放出率測定,b.中古イオンポンプ(ステンレス,チタン製)の機能回復の試み,c.アルミ箔の脱脂,を試みた.
実験 a.処理,未処理チェンバーのガス放出率を測定した。
b.イオンポンプの排気系を起動し,圧力変化を測定した。
c.脱脂条件として処理温度と時間をパラメーターに選び,2系統の実験をした.比較のために実際の現場で行われる熱処理のみの場合も実験した。
結果 a.処理(37時間)チェンバーのガス放出率は未処理のものに比べ,ベ-キング前1/2,ベ-キング中の吸着ガスは1/6,ベ-キング後は同程度だった.b.処理(40時間)ポンプは2x10^8Torrに達するのに600分,未処理では10^4分で,一桁以上改善された。その圧力でのガス放出率は2/3であった.c.時間を6時間,温度をパラメーターのとき,150℃において残留油分は未処理の1/3で工業レベルを満たし,熱処理のみのものの2/3と優れている.一方,温度150℃で時間をパラメーターにした時,6時間で工業レベルを満たした.
まとめ オゾン処理条件の変化による効果が解った.チタン,ステンレスにも有効である.脱脂への応用も可能である.今後は表面加工法との関係,動的ガス放出率,現場と同一条件での試験,酸化メカニズムの調査を行う.
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[Publications] T.Momose: "Carbon‐free surfaces on aluminum alloys exposed to syuchrotron radiation" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 21-25 (1994)
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[Publications] T.Momose: "Aluminum Oxide Surface mrth No Carbon Detected on the Surface and in this sputter‐profiled Loyer by Auger Electron Spectroscopy" KEK preprint 94‐7. -11 (1994)
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[Publications] T.Momose: "O_3 treated metal surfaces with less carbon detected on the surface and in the sputter‐protiled layer by Auger Electron Spectroscopy(AES)" 宮城工業高等専門学校研究紀要. 23-29 (1995)
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[Publications] T.Momose: "Auger Electron Spectroscopy characterization of aluminum allog exposed to synchrotron rodiation" J. Vac, Sci. Techunol. A. 13. 488-492 (1995)
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[Publications] T.Momose: "Surface auslysis of carbon on ozone treated metals" J. vac. Scir. Teclinol,A. 13. 515-519 (1995)
