1995 Fiscal Year Annual Research Report
直流グロー放電法による高機能性プラズマ重合膜の試作
| Project/Area Number |
06555284
|
|---|
| Research Institution | TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY |
|---|
Principal Investigator |
柿本 雅明 東京工業大学, 工学部, 助教授 (90152595)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
米田 勝実 日本レーザ電子(株), 光技術研究所, 主観研究員
|
|---|
| Keywords | 直流グロー放電 / プラズマ重合 / ナフタリン / ベンゼン / 有機ケイ素化合物 / 酸化ケイ素 / 二酸化炭素 / イオウ |
|---|
| Research Abstract |
直流グロー放電によるプラズマ重合膜の作製装置をまず作製した。この装置の特徴は、液体・固体・気体のいかなるモノマーにも対応できることと、2種以上のモノマーを傾斜的に導入できる点である。ナフタリンおよびベンゼンとそのフッ素化物をモノマーとして重合を行った。その結果、ナフタリンからはSP3型の炭素もしくはそのフッ素化体がベンゼンからはSP2型炭素の膜が得られた。また、フッ素原子の導入量の増加は表面エネルギーを低下させた。含ケイ素モノマーからは酸化ケイ素と炭素からなる重合膜が生成し、その表面エネルギーはアルキル基がほとんど認められないにもかかわらず非常に小さいものであった。酸化スズをモノマーにすると半導体が期待できる酸化スズ薄膜が得られたが無定形で、絶縁体であった。次に二酸化炭素をモノマーとして重合を行ったところイオウのみからなる薄膜が得られた。イオウの無定形材料は作製が容易ではなく興味が持たれる。
|
-
[Publications] T.Suwa,M.Jikei,M.kakimoto,Y.Imai: "Plasma polymenzation in direct current glow : Characterization of plasma‐dymerizid froms of benzene and fluprinated derivatives" ACS Symposium series. 614. 471-484 (1995)
-
[Publications] T.Suwa,M.Jikei,M.Kakimoto,Y.Imai: "Preparation and evaluation of direct current glow discharge plasma‐polymerized silns of naphyhalene and octasluoronaphthalenc" Jpn. J. Appl. Phys. 34. 6503-6508 (1995)
