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1995 Fiscal Year Annual Research Report

レーザ干渉法によるインボリュート歯車歯面の形状誤差の非接触測定

Research Project

Project/Area Number 06650173
Research InstitutionKYOTO UNIVERSITY

Principal Investigator

藤尾 博重  京都大学, 工学研究科, 助教授 (90026097)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 久保 愛三  京都大学, 工学研究科, 教授 (10027899)
Keywords歯車 / インボリュート曲面 / レーザ / 干渉法 / 精度測定 / 作用平面 / 形状偏差 / フリンジスキャン法
Research Abstract

1.CCDイメージセンサを用いた斜入射干渉計により,比較的にねじれ角の小さいはすば歯車を測定対象として,その歯面形状誤差の測定の可能性を実験により検証した.
2.干渉法において位相シフト法を適用して求めた位相は[-π,π]の領域の値であり,それを本来の連続した位相曲面に変換する方法として,従来はマウスを用いてのマニュアル操作に依存していたものを,ある程度自動的に計算機に行わしめる方法を開発して測定領域全体の位相曲面を形成させ,これにより被測定面を基準面に対する形状偏差を算出しうることを示した.
3.CCDイメージセンサを用いて取り込んだ干渉縞像の縞密度は光学系の中心からの距離とともに等比級数的に増加し,場合によってはその縞間隔はCCDイメージセンサの解像度を超えたものになることもある.そのために参照光の光路途中にレンズを配置することにより,干渉縞像の縞密度を大幅に軽減できることを理論的に解明するとともに,どのようなレンズを配置すればよいかをシミュレーション解析を行い,そのシミュレーション結果にもとづいた実験により,干渉縞像の縞密度の減少を確認した.その実験結果によれば,本手法の採用により間違いの少ない位相接続が可能となるとともに,画像処理の行ううえで問題となってきたノイズの影響が軽減でき,測定精度の向上が期待できることを確認した.

  • Research Products

    (1 results)

All Other

All Publications (1 results)

  • [Publications] 藤尾博重: "CCDイメージセンサを用いた干渉計による歯車歯面形状の非接触測定(第2報,画像処理にもとづく形状・精度の算出)" 日本機械学会MPT '94シンポジウム伝動装置講演論文集. 940-58. 129-132 (1994)

URL: 

Published: 1997-02-26   Modified: 2016-04-21  

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