1994 Fiscal Year Annual Research Report
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06650371
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| Research Institution | Hosei University |
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Principal Investigator |
原 徹 法政大学, 工学部, 教授 (00147886)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
長野 昌三 菱化マッセイ, 部長
浜中 広見 法政大学, 工学部, 助教授 (10061235)
山本 康博 法政大学, 工学部, 教授 (50139383)
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| Keywords | チタン / スパッタ / マクシツ / カクドブンプ |
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| Research Abstract |
研究は計画通り進行し、本年度下記の研究成果を得た。
1)ターゲットの角度ビーム分布に関するコンピュータシュミレイションを行い、現用ターゲットに対する結果を得た。この結果はこのターゲットをコリメーションスパッタに用いると法線方向のビーム強度が非常に弱く、著しく低速度と堆積となることが明らかになった。
2)コリメーションターゲットとして最適配向引立を決定するため、ベ-サル面配向の異ったTiターゲットを用意し、シュミレーションおよび実験により角度ビーム分布を求めた。
3)得られた実験結果はシュミレーション結果と一致を示した。これらの結果をもとに実験を進める。
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Research Products
(6 results)
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[Publications] T Hara.T Nomura.K So.: ""Properties of Titanium Layers Deposited by Collimation Sputtering"" J of Vacuum Science & Technology. 12. 506-508 (1994)
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[Publications] T Hara.K Shinada.and S: ""Damage Formed by Plasma Boron Doping in Silicon"" Japan.Appl.Phys.33. 5608- (1994)
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[Publications] T Hara.T Muraki.S.Tak: ""Damage Formed by Si+ Lmplantation in GaAs"" Japan.J.Appl.Phys.33. 1435-1437 (1994)
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[Publications] 原,品田: "プラズマド-ピング法による浅い接合形成" 応用物理. 63. 1153-1154 (1994)
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[Publications] T Hara.T Okuda.S Na.: ""Stress Measurement in Al-Si-Cu interconnection Layers"," J of Electrochemical Soc.137. (1994)
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[Publications] Mizoguchi,S.Nakajima a: ""Raman lmage Measurement of Flash-Lamp Annealed Silicon"" J of Appl.Phys.62. (1994)
